Semicera წარმოგიდგენთ მაღალი ხარისხის ჩვეულებასსილიციუმის კარბიდის კონსოლიშექმნილია ნახევარგამტარების წარმოების პროცესების ასამაღლებლად. ინოვაციურიSiC პადლიდიზაინი უზრუნველყოფს განსაკუთრებულ გამძლეობას და მაღალ თერმული წინააღმდეგობას, რაც მას აუცილებელ კომპონენტად აქცევს მაღალი ტემპერატურის მქონე გარემოში ვაფლის დამუშავებისთვის.
Theსილიკონის კარბიდის ბალიშებიაგებულია იმისთვის, რომ გაუძლოს ექსტრემალურ თერმულ ციკლებს სტრუქტურული მთლიანობის შენარჩუნებისას, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის საიმედო ტრანსპორტირებას ნახევარგამტარების წარმოების კრიტიკულ ფაზებზე. უმაღლესი მექანიკური სიმტკიცით, ესვაფლის ნავიამცირებს ვაფლის დაზიანების რისკს, რაც იწვევს უფრო მაღალ მოსავლიანობას და წარმოების ხარისხს.
Semicera-ს SiC პადლის ერთ-ერთი მთავარი ინოვაცია მდგომარეობს მისი ინდივიდუალური დიზაინის ვარიანტებში. მორგებული წარმოების სპეციფიკური საჭიროებების დასაკმაყოფილებლად, პადლი გთავაზობთ მოქნილობას სხვადასხვა აღჭურვილობის დაყენებასთან ინტეგრაციაში, რაც მას იდეალურ გადაწყვეტად აქცევს თანამედროვე წარმოების პროცესებისთვის. მსუბუქი, მაგრამ გამძლე კონსტრუქცია იძლევა მარტივ მართვას და ამცირებს ოპერაციულ დროებს, რაც ხელს უწყობს ნახევარგამტარების წარმოების გაუმჯობესებულ ეფექტურობას.
გარდა მისი თერმული და მექანიკური თვისებებისა,სილიკონის კარბიდის ბალიშებიგთავაზობთ ქიმიურ წინააღმდეგობას, რაც საშუალებას აძლევს მას საიმედოდ იმუშაოს მკაცრი ქიმიურ გარემოშიც კი. ეს ხდის მას განსაკუთრებით შესაფერისს გამოსაყენებლად ისეთ პროცესებში, რომლებიც მოიცავს გრავირებას, დეპონირებას და მაღალტემპერატურულ დამუშავებას, სადაც ვაფლის ნავის მთლიანობის შენარჩუნება გადამწყვეტია მაღალი ხარისხის შედეგების უზრუნველსაყოფად.
რეკრისტალიზებული სილიციუმის კარბიდის ფიზიკური თვისებები | |
საკუთრება | ტიპიური ღირებულება |
სამუშაო ტემპერატურა (°C) | 1600°C (ჟანგბადით), 1700°C (შემცირების გარემო) |
SiC შინაარსი | > 99.96% |
უფასო Si შინაარსი | < 0.1% |
ნაყარი სიმკვრივე | 2,60-2,70 გ/სმ3 |
აშკარა ფორიანობა | < 16% |
შეკუმშვის სიძლიერე | > 600 მპა |
ცივი მოღუნვის ძალა | 80-90 მპა (20°C) |
ცხელი მოღუნვის ძალა | 90-100 მპა (1400°C) |
თერმული გაფართოება @1500°C | 4.70 10-6/°C |
თბოგამტარობა @1200°C | 23 W/m•K |
ელასტიური მოდული | 240 გპა |
თერმული შოკის წინააღმდეგობა | უაღრესად კარგი |