გრავირების პროცესის ნაწილები

SiC საფარის მატარებლები ნახევარგამტარული გრავისთვის
სილიციუმის კარბიდი RTA გადამზიდავი ფირფიტა ნახევარგამტარებისთვის
SiC მატარებელი RTP/RTA სწრაფი გათბობის თერმული დამუშავებისთვის
SiC პინის უჯრები ICP ოქროვის პროცესებისთვის LED ინდუსტრიაში
PSS დამუშავების მატარებელი ნახევარგამტარული ვაფლის გადაცემისთვის
მორგებული ნახევარგამტარული ICP უჯრა (ჭურვი)
LED etch სილიკონის კარბიდის საყრდენი უჯრა,ICP უჯრა (Etch)
მაღალი ტემპერატურისა და კოროზიისადმი მდგრადი LED სილიკონის კარბიდის ამოსაჭრელი უჯრა (ICP etching უჯრა)