Semicera ამაყობს წარმოგიდგენთGa2O3სუბსტრატი, უახლესი მასალა, რომელიც რევოლუციას მოახდენს ენერგეტიკული ელექტრონიკისა და ოპტოელექტრონიკაში.გალიუმის ოქსიდი (Ga2O3) სუბსტრატებიცნობილია მათი ულტრა ფართო ზოლებით, რაც მათ იდეალურს ხდის მაღალი სიმძლავრის და მაღალი სიხშირის მოწყობილობებისთვის.
ძირითადი მახასიათებლები:
• Ultra-Wide Bandgap: Ga2O3 გთავაზობთ დაახლოებით 4.8 eV ზოლს, რაც მნიშვნელოვნად აძლიერებს მაღალი ძაბვისა და ტემპერატურის გატარების უნარს ტრადიციულ მასალებთან შედარებით, როგორიცაა სილიკონი და GaN.
• მაღალი ავარიული ძაბვა: გამონაკლისი ავარიის ველითGa2O3სუბსტრატიშესანიშნავია მოწყობილობებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ მაღალი ძაბვის მუშაობას, რაც უზრუნველყოფს უფრო მეტ ეფექტურობას და საიმედოობას.
• თერმული მდგრადობა: მასალის უმაღლესი თერმული სტაბილურობა მას შესაფერისს ხდის ექსტრემალურ გარემოში გამოსაყენებლად, ინარჩუნებს ეფექტურობას თუნდაც მძიმე პირობებში.
• მრავალმხრივი აპლიკაციები: იდეალურია მაღალი ეფექტურობის დენის ტრანზისტორებში, UV ოპტოელექტრონულ მოწყობილობებში და სხვა გამოსაყენებლად, რაც უზრუნველყოფს მტკიცე საფუძველს მოწინავე ელექტრონული სისტემებისთვის.
განიცადეთ ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის მომავალი Semicera's-ითGa2O3სუბსტრატი. შექმნილია მაღალი სიმძლავრის და მაღალი სიხშირის ელექტრონიკის მზარდი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად, ეს სუბსტრატი ადგენს მუშაობისა და გამძლეობის ახალ სტანდარტს. ენდეთ Semicera-ს, რომ მოგაწოდოთ ინოვაციური გადაწყვეტილებები თქვენი ყველაზე რთული აპლიკაციებისთვის.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
