ნახევარკერაამაყად გთავაზობთGa2O3ეპიტაქსია, უახლესი გადაწყვეტა, რომელიც შექმნილია ენერგეტიკული ელექტრონიკის და ოპტოელექტრონიკის საზღვრებისთვის. ეს მოწინავე ეპიტაქსიალური ტექნოლოგია იყენებს გალიუმის ოქსიდის უნიკალურ თვისებებს (Ga2O3) უმაღლესი შესრულების უზრუნველყოფა მომთხოვნი აპლიკაციებში.
ძირითადი მახასიათებლები:
• განსაკუთრებული ფართო ზოლი: Ga2O3ეპიტაქსიააქვს ულტრა ფართო ზოლი, რაც საშუალებას იძლევა უფრო მაღალი ავარიის ძაბვა და ეფექტური მუშაობა მაღალი სიმძლავრის გარემოში.
•მაღალი თბოგამტარობა: ეპიტაქსიალური ფენა უზრუნველყოფს შესანიშნავ თბოგამტარობას, უზრუნველყოფს სტაბილურ მუშაობას მაღალი ტემპერატურის პირობებშიც კი, რაც მას იდეალურს ხდის მაღალი სიხშირის მოწყობილობებისთვის.
•მასალის უმაღლესი ხარისხი: მიაღწიეთ ბროლის მაღალ ხარისხს მინიმალური დეფექტებით, რაც უზრუნველყოფს მოწყობილობის ოპტიმალურ მუშაობას და ხანგრძლივობას, განსაკუთრებით კრიტიკულ პროგრამებში, როგორიცაა დენის ტრანზისტორები და ულტრაიისფერი დეტექტორები.
•მრავალფეროვნება აპლიკაციებში: იდეალურად შეეფერება ენერგეტიკულ ელექტრონიკას, RF აპლიკაციებს და ოპტოელექტრონიკას, რაც უზრუნველყოფს საიმედო საფუძველს შემდეგი თაობის ნახევარგამტარული მოწყობილობებისთვის.
აღმოაჩინეთ პოტენციალიGa2O3ეპიტაქსიაSemicera-ს ინოვაციური გადაწყვეტილებებით. ჩვენი ეპიტაქსიალური პროდუქტები შექმნილია ხარისხისა და შესრულების უმაღლესი სტანდარტების დასაკმაყოფილებლად, რაც საშუალებას აძლევს თქვენს მოწყობილობებს იმუშაონ მაქსიმალური ეფექტურობითა და საიმედოობით. აირჩიეთ Semicera უახლესი ნახევარგამტარული ტექნოლოგიისთვის.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
