ნახევარკერაამაყად წარმოგიდგენთ მის4" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატები, ინოვაციური მასალა, რომელიც შექმნილია მაღალი ხარისხის ნახევარგამტარული მოწყობილობების მზარდი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. გალიუმის ოქსიდი (Ga2O3) სუბსტრატები გვთავაზობენ ულტრა ფართო ზოლს, რაც მათ იდეალურად აქცევს შემდეგი თაობის ენერგეტიკული ელექტრონიკის, UV ოპტოელექტრონული და მაღალი სიხშირის მოწყობილობებისთვის.
ძირითადი მახასიათებლები:
• Ultra-Wide Bandgap:4" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატებიიკვეხნის დაახლოებით 4.8 ევ ზოლით, რაც იძლევა ძაბვისა და ტემპერატურის განსაკუთრებული ტოლერანტობის საშუალებას, რაც მნიშვნელოვნად აღემატება ტრადიციულ ნახევარგამტარ მასალებს, როგორიცაა სილიკონი.
•მაღალი ავარიული ძაბვა: ეს სუბსტრატები საშუალებას აძლევს მოწყობილობებს იმუშაონ უფრო მაღალი ძაბვითა და სიმძლავრით, რაც მათ სრულყოფილად აქცევს მაღალი ძაბვის გამოყენებისთვის დენის ელექტრონიკაში.
•უმაღლესი თერმული სტაბილურობა: გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატები გვთავაზობენ შესანიშნავ თბოგამტარობას, რაც უზრუნველყოფს სტაბილურ მუშაობას ექსტრემალურ პირობებში, იდეალურია მომთხოვნი გარემოში გამოსაყენებლად.
•მასალის მაღალი ხარისხი: დეფექტების დაბალი სიმკვრივით და მაღალი კრისტალური ხარისხით, ეს სუბსტრატები უზრუნველყოფენ საიმედო და თანმიმდევრულ მუშაობას, აძლიერებს თქვენი მოწყობილობების ეფექტურობასა და გამძლეობას.
•მრავალმხრივი აპლიკაცია: ვარგისია აპლიკაციების ფართო სპექტრისთვის, მათ შორის დენის ტრანზისტორები, Schottky დიოდები და UV-C LED მოწყობილობები, რაც ინოვაციების საშუალებას აძლევს როგორც ენერგეტიკულ, ასევე ოპტოელექტრონულ სფეროებში.
გამოიკვლიეთ ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის მომავალი Semicera's-ით4" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატები. ჩვენი სუბსტრატები შექმნილია ყველაზე მოწინავე აპლიკაციების მხარდასაჭერად, რაც უზრუნველყოფს თანამედროვე უახლესი მოწყობილობებისთვის საჭირო საიმედოობასა და ეფექტურობას. ენდეთ Semicera-ს თქვენი ნახევარგამტარული მასალების ხარისხსა და ინოვაციაში.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
