3C-SiC ვაფლის სუბსტრატი

მოკლე აღწერა:

Semicera 3C-SiC ვაფლის სუბსტრატები გთავაზობთ უმაღლესი თბოგამტარობის და მაღალი ელექტრული ავარიის ძაბვას, იდეალურია დენის ელექტრონული და მაღალი სიხშირის მოწყობილობებისთვის. ეს სუბსტრატები სიზუსტით არის შემუშავებული მკაცრი გარემოში ოპტიმალური მუშაობისთვის, რაც უზრუნველყოფს საიმედოობას და ეფექტურობას. აირჩიეთ Semicera ინოვაციური და მოწინავე გადაწყვეტილებებისთვის.


პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

Semicera 3C-SiC ვაფლის სუბსტრატები შექმნილია იმისთვის, რომ უზრუნველყოს ძლიერი პლატფორმა შემდეგი თაობის ენერგეტიკული ელექტრონიკისა და მაღალი სიხშირის მოწყობილობებისთვის. უმაღლესი თერმული თვისებებით და ელექტრული მახასიათებლებით, ეს სუბსტრატები შექმნილია თანამედროვე ტექნოლოგიების მოთხოვნილებების დასაკმაყოფილებლად.

Semicera ვაფლის სუბსტრატების 3C-SiC (კუბური სილიკონის კარბიდი) სტრუქტურა გთავაზობთ უნიკალურ უპირატესობებს, მათ შორის უფრო მაღალ თბოგამტარობას და თერმული გაფართოების დაბალი კოეფიციენტს სხვა ნახევარგამტარულ მასალებთან შედარებით. ეს მათ შესანიშნავ არჩევანს ხდის მოწყობილობებისთვის, რომლებიც მუშაობენ ექსტრემალურ ტემპერატურასა და მაღალი სიმძლავრის პირობებში.

მაღალი ელექტრული ავარიის ძაბვით და უმაღლესი ქიმიური სტაბილურობით, Semicera 3C-SiC ვაფლის სუბსტრატები უზრუნველყოფს ხანგრძლივ მუშაობას და საიმედოობას. ეს თვისებები გადამწყვეტია ისეთი აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა მაღალი სიხშირის რადარი, მყარი მდგომარეობის განათება და დენის ინვერტორები, სადაც ეფექტურობა და გამძლეობა უმნიშვნელოვანესია.

Semicera-ს ერთგულება ხარისხზე აისახება მათი 3C-SiC ვაფლის სუბსტრატების ზედმიწევნით წარმოების პროცესში, რაც უზრუნველყოფს ერთგვაროვნებას და თანმიმდევრულობას ყველა პარტიაში. ეს სიზუსტე ხელს უწყობს მათზე აგებული ელექტრონული მოწყობილობების მთლიან მუშაობას და ხანგრძლივობას.

Semicera 3C-SiC ვაფლის სუბსტრატების არჩევით, მწარმოებლები იღებენ წვდომას უახლესი მასალაზე, რომელიც საშუალებას აძლევს შექმნას უფრო მცირე, უფრო სწრაფი და ეფექტური ელექტრონული კომპონენტები. Semicera აგრძელებს ტექნოლოგიური ინოვაციების მხარდაჭერას საიმედო გადაწყვეტილებების მიწოდებით, რომლებიც აკმაყოფილებს ნახევარგამტარული ინდუსტრიის განვითარებად მოთხოვნებს.

ნივთები

წარმოება

კვლევა

მატყუარა

კრისტალური პარამეტრები

პოლიტიპი

4H

ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა

<11-20 >4±0,15°

ელექტრული პარამეტრები

დოპანტი

n ტიპის აზოტი

წინააღმდეგობა

0,015-0,025ohm·cm

მექანიკური პარამეტრები

დიამეტრი

150,0±0,2 მმ

სისქე

350±25 მკმ

პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია

[1-100]±5°

პირველადი ბრტყელი სიგრძე

47,5±1,5 მმ

მეორადი ბინა

არცერთი

TTV

≤5 მკმ

≤10 მკმ

≤15 მკმ

LTV

≤3 μm (5 მმ*5 მმ)

≤5 μm (5 მმ*5 მმ)

≤10 μm (5 მმ*5 მმ)

მშვილდი

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

გადახვევა

≤35 მკმ

≤45 მკმ

≤55 მკმ

წინა (Si-face) უხეშობა (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

სტრუქტურა

მიკრომილის სიმკვრივე

<1 ეა/სმ2

<10 ეა/სმ2

<15 ეა/სმ2

ლითონის მინარევები

≤5E10 ატომები/სმ2

NA

BPD

≤1500 ეა/სმ2

≤3000 ეა/სმ2

NA

TSD

≤500 ეა/სმ2

≤1000 ეა/სმ2

NA

წინა ხარისხი

წინა

Si

ზედაპირის დასრულება

Si-face CMP

ნაწილაკები

≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm)

NA

ნაკაწრები

≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი

კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი

NA

ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება

არცერთი

NA

კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები

არცერთი

პოლიტიპური უბნები

არცერთი

კუმულაციური ფართობი≤20%

კუმულაციური ფართობი≤30%

წინა ლაზერული მარკირება

არცერთი

უკან ხარისხი

უკანა დასრულება

C-სახის CMP

ნაკაწრები

≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი

NA

უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა)

არცერთი

ზურგის უხეშობა

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

უკანა ლაზერული მარკირება

1 მმ (ზედა კიდიდან)

ზღვარი

ზღვარი

ჩამფერი

შეფუთვა

შეფუთვა

Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით

მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა

*შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს.

tech_1_2_size
SiC ვაფლები

  • წინა:
  • შემდეგი: