ნახევარკერააღფრთოვანებულია შეთავაზებით2" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატები, უახლესი მასალა, რომელიც შექმნილია მოწინავე ნახევარგამტარული მოწყობილობების მუშაობის გასაუმჯობესებლად. ეს სუბსტრატები დამზადებულია გალიუმის ოქსიდისგან (Ga2O3), ახასიათებს ულტრა ფართო ზოლიანი ზოლი, რაც მათ იდეალურ არჩევანს აქცევს მაღალი სიმძლავრის, მაღალი სიხშირის და UV ოპტოელექტრონული აპლიკაციებისთვის.
ძირითადი მახასიათებლები:
• Ultra-Wide Bandgap:2" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატებიუზრუნველყოს გამორჩეული ზოლის დიაპაზონი დაახლოებით 4.8 ევ, რაც იძლევა უფრო მაღალი ძაბვისა და ტემპერატურის მუშაობის საშუალებას, რაც ბევრად აღემატება ტრადიციული ნახევარგამტარული მასალების შესაძლებლობებს, როგორიცაა სილიკონი.
•განსაკუთრებული ავარიული ძაბვა: ეს სუბსტრატები საშუალებას აძლევს მოწყობილობებს გაუმკლავდნენ მნიშვნელოვნად მაღალ ძაბვებს, რაც მათ სრულყოფილად აქცევს ენერგეტიკული ელექტრონიკისთვის, განსაკუთრებით მაღალი ძაბვის აპლიკაციებში.
•შესანიშნავი თბოგამტარობა: უმაღლესი თერმული სტაბილურობით, ეს სუბსტრატები ინარჩუნებენ თანმიმდევრულ მუშაობას ექსტრემალურ თერმულ გარემოშიც კი, იდეალურია მაღალი სიმძლავრის და მაღალი ტემპერატურის გამოყენებისთვის.
•მაღალი ხარისხის მასალა:2" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატებიგთავაზობთ დაბალი დეფექტების სიმკვრივეს და მაღალ კრისტალურ ხარისხს, რაც უზრუნველყოფს თქვენი ნახევარგამტარული მოწყობილობების საიმედო და ეფექტურ მუშაობას.
•მრავალმხრივი აპლიკაციები: ეს სუბსტრატები შეეფერება სხვადასხვა აპლიკაციებს, მათ შორის დენის ტრანზისტორებს, Schottky დიოდებს და UV-C LED მოწყობილობებს, რაც მყარ საფუძველს გვთავაზობს როგორც ენერგეტიკული, ასევე ოპტოელექტრონული ინოვაციებისთვის.
გახსენით თქვენი ნახევარგამტარული მოწყობილობების სრული პოტენციალი Semicera-ით2" გალიუმის ოქსიდის სუბსტრატები. ჩვენი სუბსტრატები შექმნილია დღევანდელი მოწინავე აპლიკაციების მოთხოვნილებების დასაკმაყოფილებლად, რაც უზრუნველყოფს მაღალ შესრულებას, საიმედოობას და ეფექტურობას. აირჩიეთ Semicera უახლესი ნახევარგამტარული მასალებისთვის, რომლებიც განაპირობებენ ინოვაციას.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
