აღწერა
სილიკონის კარბიდი ეპიტაქსიალურივაფლის დისკები VEECO-ს აღჭურვილობისთვის ნახევრადგანზომილებით არის შემუშავებული მოწინავე ეპიტაქსიალური პროცესებისთვის, რაც უზრუნველყოფს მაღალი ხარისხის შედეგებს ორივეშისი ეპიტაქსიადაSiC ეპიტაქსიააპლიკაციები. ეს ვაფლის დისკები სპეციალურად შექმნილია VEECO აღჭურვილობისთვის, რაც აუმჯობესებს სხვადასხვა ნახევარგამტარული წარმოების პროცესების მუშაობას და ეფექტურობას. Semicera-ს ექსპერტიზა გარანტიას იძლევა განსაკუთრებული გამძლეობისა და სიზუსტის კრიტიკული აპლიკაციებისთვის.
ეს ეპიტაქსიური ვაფლის დისკები იდეალურია გამოსაყენებლადMOCVD სუსცეპტორისისტემები, რომლებიც უზრუნველყოფენ მტკიცე მხარდაჭერას არსებითი კომპონენტებისთვის, როგორიცააPSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, დაRTP გადამზიდავი. გარდა ამისა, ისინი გვთავაზობენ გაძლიერებულ თავსებადობასLED ეპიტაქსიალური სუსცეპტორი, ლულის სუსცეპტორი და მონოკრისტალური სილიკონის პროცესები, რაც უზრუნველყოფს თქვენი საწარმოო ხაზების შენარჩუნებას ეფექტურობისა და სიზუსტის უმაღლეს სტანდარტებს.
უახლესი ტექნოლოგიებისთვის შექმნილი ეს ვაფლის დისკები მნიშვნელოვნად უწყობს ხელს ფოტოელექტრული ნაწილების წარმოებას და ხელს უწყობს კომპლექსურ პროცესებს, როგორიცაა GaN SiC Epitaxy-ზე. გამოყენებული იქნება ბლინების სუსცეპტორის კონფიგურაციისთვის თუ სხვა მომთხოვნი აპლიკაციებისთვის, semicera-ს სილიკონის კარბიდის ეპიტაქსიალური ვაფლის დისკები უზრუნველყოფს საიმედო საფუძველს გაფართოებული ნახევარგამტარების წარმოებისთვის, რაც უზრუნველყოფს ოპტიმალურ შესრულებას და გრძელვადიან გამძლეობას.
ძირითადი მახასიათებლები
1 .მაღალი სისუფთავის SiC დაფარული გრაფიტი
2. უმაღლესი სითბოს წინააღმდეგობა და თერმული ერთგვაროვნება
3. ჯარიმაSiC კრისტალურად დაფარულიგლუვი ზედაპირისთვის
4. მაღალი გამძლეობა ქიმიური გაწმენდის წინააღმდეგ
CVD-SIC საფარების ძირითადი სპეციფიკაციები:
| SiC-CVD | ||
| სიმჭიდროვე | (გ/კმ) | 3.21 |
| მოქნილობის სიმტკიცე | (მპა) | 470 |
| თერმული გაფართოება | (10-6/K) | 4 |
| თბოგამტარობა | (W/mK) | 300 |
შეფუთვა და მიწოდება
მიწოდების უნარი:
10000 ცალი/ცალი თვეში
შეფუთვა და მიწოდება:
შეფუთვა: სტანდარტული და ძლიერი შეფუთვა
პოლიჩანთა + ყუთი + მუყაო + პლატა
პორტი:
ნინგბო/შენჟენი/შანხაი
მიწოდების დრო:
| რაოდენობა (ცალი) | 1-1000 | >1000 |
| ეს დრო (დღეები) | 30 | მოსალაპარაკებლად |
