ნახევარკერასილიკონის კარბიდის კერამიკული საფარიარის მაღალი ხარისხის დამცავი საფარი, დამზადებული უკიდურესად მყარი და აცვიათ მდგრადი სილიციუმის კარბიდის (SiC) მასალისგან. საფარი ჩვეულებრივ დეპონირებულია სუბსტრატის ზედაპირზე CVD ან PVD პროცესითსილიციუმის კარბიდის ნაწილაკებიუზრუნველყოფს შესანიშნავი ქიმიური კოროზიის წინააღმდეგობას და მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას. ამიტომ, სილიკონის კარბიდის კერამიკული საფარი ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარული წარმოების აღჭურვილობის ძირითად კომპონენტებში.
ნახევარგამტარების წარმოებაში,SiC საფარიშეუძლია გაუძლოს უკიდურესად მაღალ ტემპერატურას 1600°C-მდე, ამიტომ სილიკონის კარბიდის კერამიკული საფარი ხშირად გამოიყენება როგორც დამცავი ფენა აღჭურვილობისა და ხელსაწყოებისთვის, რათა თავიდან აიცილოს დაზიანება მაღალ ტემპერატურაზე ან კოროზიულ გარემოში.
ამავე დროს,სილიციუმის კარბიდის კერამიკული საფარიშეუძლია წინააღმდეგობა გაუწიოს მჟავების, ტუტეების, ოქსიდების და სხვა ქიმიური რეაგენტების ეროზიას და აქვს მაღალი კოროზიის წინააღმდეგობა სხვადასხვა ქიმიურ ნივთიერებებზე. ამიტომ, ეს პროდუქტი განკუთვნილია სხვადასხვა კოროზიული გარემოსთვის ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში.
უფრო მეტიც, სხვა კერამიკულ მასალებთან შედარებით, SiC-ს აქვს უფრო მაღალი თბოგამტარობა და შეუძლია ეფექტურად გაატაროს სითბო. ეს ფუნქცია განსაზღვრავს, რომ ნახევარგამტარულ პროცესებში, რომლებიც საჭიროებენ ტემპერატურის ზუსტ კონტროლს, მაღალი თბოგამტარობასილიკონის კარბიდის კერამიკული საფარიხელს უწყობს სითბოს თანაბრად გაფანტვას, ადგილობრივი გადახურების თავიდან აცილებას და მოწყობილობის ოპტიმალურ ტემპერატურაზე მუშაობის უზრუნველყოფას.
| CVD sic საფარის ძირითადი ფიზიკური თვისებები | |
| საკუთრება | ტიპიური ღირებულება |
| კრისტალური სტრუქტურა | FCC β ფაზის პოლიკრისტალური, ძირითადად (111) ორიენტირებული |
| სიმჭიდროვე | 3.21 გ/სმ³ |
| სიხისტე | 2500 ვიკერსის სიმტკიცე (500 გრ დატვირთვა) |
| მარცვლეულის ზომა | 2 ~ 10 მკმ |
| ქიმიური სისუფთავე | 99.99995% |
| სითბოს სიმძლავრე | 640 J· კგ-1· კ-1 |
| სუბლიმაციის ტემპერატურა | 2700℃ |
| მოქნილობის სიძლიერე | 415 MPa RT 4-პუნქტიანი |
| იანგის მოდული | 430 Gpa 4pt მოსახვევი, 1300℃ |
| თბოგამტარობა | 300 W · მ-1· კ-1 |
| თერმული გაფართოება (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
