მყარი SiC ფოკუსის ბეჭედი

მყარი SiC ფოკუსური რგოლი Semicera-სგან არის უახლესი კომპონენტი, რომელიც შექმნილია ნახევარგამტარების მოწინავე წარმოების მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. დამზადებულია მაღალი სისუფთავისგანსილიკონის კარბიდი (SiC), ეს ფოკუსირებული რგოლი იდეალურია ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში გამოყენების ფართო სპექტრისთვის, განსაკუთრებითCVD SiC პროცესები, პლაზმური ჭურვი დაICPRIE (ინდუქციურად დაწყვილებული პლაზმური რეაქტიული იონის ოხრახუში). ცნობილია თავისი განსაკუთრებული აცვიათ წინააღმდეგობით, მაღალი თერმული სტაბილურობითა და სიწმინდით, ის უზრუნველყოფს ხანგრძლივ მუშაობას მაღალი სტრესის პირობებში.

ნახევარგამტარშივაფლიდამუშავება, Solid SiC ფოკუსური რგოლები გადამწყვეტია ზუსტი ოქროვის შესანარჩუნებლად მშრალი გრავირებისა და ვაფლის ოქროვის გამოყენებისას. SiC ფოკუსირებული რგოლი ხელს უწყობს პლაზმის ფოკუსირებას ისეთი პროცესების დროს, როგორიცაა პლაზმური ოქროვის აპარატის ოპერაციები, რაც მას შეუცვლელს ხდის სილიკონის ვაფლის ამოსაჭრელად. მყარი SiC მასალა გთავაზობთ შეუდარებელ წინააღმდეგობას ეროზიის მიმართ, უზრუნველყოფს თქვენი აღჭურვილობის ხანგრძლივობას და მინიმუმამდე დაყვანის დროს, რაც აუცილებელია ნახევარგამტარების წარმოებაში მაღალი გამტარუნარიანობის შესანარჩუნებლად.

მყარი SiC ფოკუსური რგოლი Semicera-სგან შექმნილია იმისთვის, რომ გაუძლოს ექსტრემალურ ტემპერატურას და აგრესიულ ქიმიკატებს, რომლებიც ჩვეულებრივ გვხვდება ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში. იგი სპეციალურად შექმნილია მაღალი სიზუსტის ამოცანების გამოსაყენებლად, როგორიცააCVD SiC საიზოლაციო, სადაც სიწმინდე და გამძლეობა უმთავრესია. თერმული შოკისადმი შესანიშნავი გამძლეობით, ეს პროდუქტი უზრუნველყოფს თანმიმდევრულ და სტაბილურ მუშაობას უმძიმეს პირობებში, მათ შორის მაღალი ტემპერატურის ზემოქმედების დროს.ვაფლიგრავირების პროცესები.