RTPCVD SiC რგოლებიფართოდ გამოიყენება სამრეწველო და სამეცნიერო სფეროებში მაღალი ტემპერატურისა და კოროზიულ გარემოში. ის მნიშვნელოვან როლს ასრულებს ნახევარგამტარების წარმოებაში, ოპტოელექტრონიკაში, ზუსტი მანქანებსა და ქიმიურ მრეწველობაში. სპეციფიკური აპლიკაციები მოიცავს:
1. ნახევარგამტარების წარმოება:RTP CVD SiC რგოლებიშეიძლება გამოყენებულ იქნას ნახევარგამტარული აღჭურვილობის გასათბობად და გაგრილებისთვის, რაც უზრუნველყოფს ტემპერატურის სტაბილურ კონტროლს და უზრუნველყოფს პროცესის სიზუსტეს და თანმიმდევრულობას.
2. ოპტოელექტრონიკა: შესანიშნავი თბოგამტარობისა და მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობის გამო, RTPCVD SiC რგოლებიშეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც დამხმარე და სითბოს გაფრქვევის მასალები ლაზერებისთვის, ოპტიკურ-ბოჭკოვანი საკომუნიკაციო მოწყობილობებისთვის და ოპტიკური კომპონენტებისთვის.
3. ზუსტი მანქანები: RTP CVD SiC რგოლები შეიძლება გამოყენებულ იქნას ზუსტი ინსტრუმენტებისა და აღჭურვილობისთვის მაღალ ტემპერატურაზე და კოროზიულ გარემოში, როგორიცაა მაღალი ტემპერატურის ღუმელები, ვაკუუმური მოწყობილობები და ქიმიური რეაქტორები.
4. ქიმიური მრეწველობა: კოროზიის წინააღმდეგობისა და ქიმიური სტაბილურობის გამო, RTP CVD SiC რგოლები შეიძლება გამოყენებულ იქნას კონტეინერებში, მილებში და რეაქტორებში ქიმიურ რეაქციებში და კატალიზურ პროცესებში.
ეპი სისტემა
RTP სისტემა
CVD სისტემა
პროდუქტის შესრულება:
1. დააკმაყოფილეთ პროცესი 28 ნმ-ზე ქვემოთ
2. სუპერ კოროზიის წინააღმდეგობა
3. სუპერ სუფთა შესრულება
4. სუპერ სიმტკიცე
5. მაღალი სიმკვრივე
6. მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა
7. აცვიათ წინააღმდეგობა
პროდუქტის განაცხადი:
სილიციუმის კარბიდის მასალებს აქვთ მაღალი სიმტკიცე, აცვიათ წინააღმდეგობა, კოროზიის წინააღმდეგობა და მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა. პროდუქტები შესანიშნავი ყოვლისმომცველი შესრულებით ფართოდ გამოიყენება მშრალ გრავირებასა და TF/დიფუზიის პროცესებში.
პროდუქტის შესრულება:
1. დააკმაყოფილეთ პროცესი 28 ნმ-ზე ქვემოთ
2. სუპერ კოროზიის წინააღმდეგობა
3. სუპერ სუფთა შესრულება
4. სუპერ სიმტკიცე
5. მაღალი სიმკვრივე
6. მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა
7. აცვიათ წინააღმდეგობა
კომპოზიტური პროცესის განვითარება:
• გრაფიტი + SiC საფარი
• მყარი CVD SiC
• აგლომერირებული SiC+CVD
• SicSintered SiC
პროდუქტის მრავალი ტიპის განვითარება:
• ბეჭედი
• მაგიდა
• სუსცეპტორი
• შხაპის თავი