ნახევარგამტარების წარმოების სწრაფად განვითარებად სფეროში, აღჭურვილობის სიზუსტე და გამძლეობა უმნიშვნელოვანესია მაღალი მოსავლიანობისა და ხარისხის მისაღწევად. ამის უზრუნველსაყოფად ერთ-ერთი მთავარი კომპონენტია SiC Coating Wheel Gear, შექმნილია ისეთი პროცესების ეფექტურობის გასაუმჯობესებლად, როგორიცაასი ეპიტაქსიადაSiC ეპიტაქსია. Semicera-ში ჩვენ სპეციალიზირებულნი ვართ მოწინავე SiC საფარის ბორბლების მექანიზმების შემუშავებაში, რომლებიც აკმაყოფილებს თანამედროვე ნახევარგამტარების წარმოების მოთხოვნებს, გვთავაზობენ ცვეთა წინააღმდეგობას და თერმული სტაბილურობას.
SiC Coating Wheel Gears გადამწყვეტ როლს თამაშობს მოწყობილობებში, რომლებიც გამოიყენება ეპიტაქსიური ზრდისთვის, სადაც ისინი უზრუნველყოფენ გლუვ მოძრაობას და სუბსტრატების ზუსტ კონტროლს. ეს მექანიზმები, მათისილიციუმის კარბიდის საფარი, უზრუნველყოფენ გაძლიერებულ გამძლეობას და კოროზიის წინააღმდეგობას, რაც მათ იდეალურს ხდის იმ გარემოსთვის, რომელშიც შედის მაღალი ტემპერატურა და აგრესიული ქიმიკატები. ეს განსაკუთრებით მნიშვნელოვანია გამოყენების პროცესებშიMOCVD სუსცეპტორები, სადაც მასალების დეპონირება მოითხოვს სტაბილურ და საიმედო მხარდაჭერას.
გარდა მათი ფუნქციისასი ეპიტაქსიადაSiC ეპიტაქსია, Semicera-ს SiC საფარის ბორბლების მექანიზმები ასევე სასიცოცხლოდ მნიშვნელოვანია სხვა ნახევარგამტარული აპლიკაციებისთვის. მაგალითად, ისინი ინტეგრირებულია სისტემებშიPSS Etching Carriers, აუცილებელია ერთიანი და მაღალი ხარისხის LED ვაფლის წარმოებისთვის. მათი მაღალი სიზუსტე და სიძლიერე ასევე მათ შესაფერისს ხდისICP Etching Carriers, სადაც ზუსტი ტოლერანტობის საჭიროება გადამწყვეტია იონური ჭურვის პროცესებში. გარდა ამისა, მათი უნარი გაუძლოს სწრაფ თერმულ გადასვლებს, ხდის მათ უაღრესად ეფექტურ RTP Carriers-ში, რომლებიც გამოიყენება ნახევარგამტარული ანეილირებაში.
SiC Coating Wheel Gears-ის კიდევ ერთი მნიშვნელოვანი გამოყენება არის LED ეპიტაქსიალური სუსცეპტორების წარმოებაში, სადაც მათი გამძლეობა და სითბოს წინააღმდეგობა ხელს უწყობს მგრძნობელობის მთლიანობის შენარჩუნებას მაღალტემპერატურულ ოპერაციებში. ეს იწვევს უფრო მაღალ გამტარუნარიანობას და საიმედოობას LED ვაფლის წარმოებაში.
Semicera-ს მოწინავე SiC Coating Wheel Gears-ის ჩართვით, მწარმოებლებს შეუძლიათ მიაღწიონ გაუმჯობესებულ შესრულებას, შემცირებულ დროში და გაუმჯობესებულ ეფექტურობას ნახევარგამტარების წარმოების პროცესებში. იქნება ეს Si Epitaxy-ში, SiC Epitaxy-ში თუ MOCVD Susceptors-ის მართვაში, ეს მექანიზმები უზრუნველყოფს გამძლეობას და სიზუსტეს, რომელიც საჭიროა ნახევარგამტარული ინდუსტრიის მაღალი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად.
დამატებითი ინფორმაციისთვის ეწვიეთ:
Semicera ოფიციალური საიტი:https://www.semi-cera.com/
გამოქვეყნების დრო: სექ-24-2024