სილიციუმის კარბიდი კერამიკული ეფექტორი ვაფლის გადასატანად სხვადასხვა ნახევარგამტარულ პროცესებში

მახასიათებლები და უპირატესობები

1.ზუსტი ზომები და თერმული სტაბილურობა

2. მაღალი სპეციფიკური სიხისტე და შესანიშნავი თერმული ერთგვაროვნება, გრძელვადიანი გამოყენება არ არის ადვილი მოსახვევი დეფორმაცია;

3. მას აქვს გლუვი ზედაპირი და კარგი აცვიათ წინააღმდეგობა, რითაც უსაფრთხოდ ამუშავებს ჩიპს ნაწილაკების დაბინძურების გარეშე.

4.სილიციუმის კარბიდის წინაღობა 106-108Ω, არამაგნიტური, ანტი-ESD სპეციფიკაციის მოთხოვნების შესაბამისად; მას შეუძლია თავიდან აიცილოს სტატიკური ელექტროენერგიის დაგროვება ჩიპის ზედაპირზე

5.კარგი თბოგამტარობა, გაფართოების დაბალი კოეფიციენტი.