ნახევარკერავაფლის კასეტაარის კრიტიკული კომპონენტი ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში, შექმნილია ნაზი ნახევარგამტარული ვაფლის უსაფრთხოდ დასაჭერად და ტრანსპორტირებისთვის. Theვაფლის კასეტაუზრუნველყოფს განსაკუთრებულ დაცვას, რაც უზრუნველყოფს, რომ თითოეული ვაფლი დაცული იყოს დამაბინძურებლებისგან და ფიზიკური დაზიანებისგან დამუშავების, შენახვისა და ტრანსპორტირების დროს.
დამზადებულია მაღალი სისუფთავის, ქიმიკატებისადმი მდგრადი მასალებით, Semiceraვაფლის კასეტაუზრუნველყოფს უმაღლესი დონის სისუფთავეს და გამძლეობას, რაც აუცილებელია ვაფლის მთლიანობის შესანარჩუნებლად წარმოების ყველა ეტაპზე. ამ კასეტების ზუსტი ინჟინერია იძლევა უწყვეტი ინტეგრაციის საშუალებას ავტომატური მართვის სისტემებთან, რაც ამცირებს დაბინძურების და მექანიკური დაზიანების რისკს.
დიზაინისვაფლის კასეტაასევე მხარს უჭერს ჰაერის ნაკადის და ტემპერატურის ოპტიმალურ კონტროლს, რაც გადამწყვეტია პროცესებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ სპეციფიკურ გარემო პირობებს. გამოიყენება სუფთა ოთახებში თუ თერმული დამუშავების დროს, Semiceraვაფლის კასეტაშექმნილია ნახევარგამტარული ინდუსტრიის მკაცრი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად, რაც უზრუნველყოფს საიმედო და თანმიმდევრულ შესრულებას წარმოების ეფექტურობისა და პროდუქტის ხარისხის გასაუმჯობესებლად.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
