ჩვენი კომპანია გთავაზობთSiC საფარიდამუშავება გრაფიტის, კერამიკის და სხვა მასალების ზედაპირზე CVD მეთოდით, ისე, რომ ნახშირბადის და სილიციუმის შემცველმა სპეციალურ გაზებს შეუძლიათ რეაგირება მოახდინონ მაღალ ტემპერატურაზე მაღალი სისუფთავის Sic მოლეკულების მისაღებად, რომლებიც შეიძლება დაილექოს დაფარული მასალების ზედაპირზე და წარმოქმნასSiC დამცავი ფენაეპიტაქსიისთვის ლულის ტიპის hy pnotic.
ძირითადი მახასიათებლები:
1 .მაღალი სისუფთავის SiC დაფარული გრაფიტი
2. უმაღლესი სითბოს წინააღმდეგობა და თერმული ერთგვაროვნება
3. ჯარიმაSiC კრისტალურად დაფარულიგლუვი ზედაპირისთვის
4. მაღალი გამძლეობა ქიმიური წმენდის წინააღმდეგ
ძირითადი სპეციფიკაციებიCVD-SIC საფარი
| SiC-CVD თვისებები | ||
| კრისტალური სტრუქტურა | FCC β ფაზა | |
| სიმჭიდროვე | გ/სმ ³ | 3.21 |
| სიხისტე | ვიკერსის სიმტკიცე | 2500 |
| მარცვლეულის ზომა | მმ | 2 ~ 10 |
| ქიმიური სისუფთავე | % | 99.99995 |
| სითბოს სიმძლავრე | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| სუბლიმაციის ტემპერატურა | ℃ | 2700 |
| ფელექსორული სიძლიერე | MPa (RT 4-პუნქტი) | 415 |
| იანგის მოდული | Gpa (4pt მოსახვევი, 1300℃) | 430 |
| თერმული გაფართოება (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| თბოგამტარობა | (W/mK) | 300 |
-
თერმული ველის მასალა სილიციუმის კარბიდის ტირილისთვის...
-
ნახევარგამტარული MOCVD სუბსტრატის გამაცხელებელი MOCVD სითბოს...
-
SiC მატარებელი RTP/RTA სწრაფი გათბობის სითბური წყლისთვის...
-
სილიკონის კარბიდით დაფარული ლულის სუსცეპტორი ვაფისთვის...
-
ნახევარგამტარული სილიკონის კარბიდი ვაფლის ნავი
-
ეპიტაქსია ვაფლის გადამზიდავი