ტანტალის კარბიდით დაფარული მგრძნობელობის დამხმარე ფირფიტაარის მგრძნობიარე ან დამხმარე სტრუქტურა, რომელიც დაფარულია თხელი ფენითტანტალის კარბიდი. ეს საფარი შეიძლება წარმოიქმნას მგრძნობელობის ზედაპირზე ისეთი ტექნიკით, როგორიცაა ფიზიკური ორთქლის დეპონირება (PVD) ან ქიმიური ორთქლის დეპონირება (CVD), რაც მგრძნობელობას აძლევს ზედმეტ თვისებებს.ტანტალის კარბიდი.
Semicera უზრუნველყოფს სპეციალიზებულ ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს სხვადასხვა კომპონენტებისა და მატარებლებისთვის.Semicera წამყვანი დაფარვის პროცესი საშუალებას აძლევს ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს მიაღწიონ მაღალ სისუფთავეს, მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას და მაღალ ქიმიურ ტოლერანტობას, აუმჯობესებს SIC/GAN კრისტალების და EPI ფენების პროდუქტის ხარისხს.გრაფიტით დაფარული TaC მგრძნობელობა) და რეაქტორის ძირითადი კომპონენტების სიცოცხლის გახანგრძლივება. ტანტალის კარბიდის TaC საფარის გამოყენება მიზნად ისახავს ზღვარზე პრობლემის გადაჭრას და კრისტალების ზრდის ხარისხის გაუმჯობესებას, ხოლო Semicera-მა გარღვევა მოაგვარა ტანტალის კარბიდის საფარის ტექნოლოგია (CVD), მიაღწია საერთაშორისო მოწინავე დონეს.
წლების განვითარების შემდეგ, Semicera-მ დაიპყრო ტექნოლოგიაCVD TaCR&D დეპარტამენტის ერთობლივი ძალისხმევით. დეფექტები ადვილად წარმოიქმნება SiC ვაფლის ზრდის პროცესში, მაგრამ გამოყენების შემდეგTaC, განსხვავება მნიშვნელოვანია. ქვემოთ მოცემულია ვაფლების შედარება TaC-ით და მის გარეშე, ასევე Simicera' ნაწილების ერთკრისტალური ზრდისთვის.
ტანტალის კარბიდით დაფარული საყრდენი ფირფიტების ძირითადი მახასიათებლები მოიცავს:
1. მაღალი ტემპერატურული სტაბილურობა: ტანტალის კარბიდს აქვს მაღალი ტემპერატურის მდგრადობა, რაც აქცევს დაფარულ საყრდენ ფირფიტას შესაფერისი მხარდაჭერის საჭიროებისთვის მაღალი ტემპერატურის სამუშაო გარემოში.
2. კოროზიის წინააღმდეგობა: ტანტალის კარბიდის საფარს აქვს კარგი კოროზიის წინააღმდეგობა, შეუძლია წინააღმდეგობა გაუწიოს ქიმიურ კოროზიას და დაჟანგვას და გაახანგრძლივოს ბაზის მომსახურების ვადა.
3. მაღალი სიხისტე და აცვიათ წინააღმდეგობა: ტანტალის კარბიდის საფარის მაღალი სიმტკიცე ანიჭებს საყრდენის ფირფიტას კარგ ცვეთა წინააღმდეგობას, რაც შესაფერისია იმ შემთხვევებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ აცვიათ მაღალ წინააღმდეგობას.
4. ქიმიური სტაბილურობა: ტანტალის კარბიდს აქვს მაღალი სტაბილურობა სხვადასხვა ქიმიური ნივთიერების მიმართ, რაც აიძულებს დაფარულ ბაზის დამხმარე ფირფიტას კარგად იმოქმედოს ზოგიერთ კოროზიულ გარემოში.
TaC-ით და მის გარეშე
TaC გამოყენების შემდეგ (მარჯვნივ)
უფრო მეტიც, Semicera-სTaC დაფარული პროდუქტებიაჩვენებენ უფრო ხანგრძლივ მომსახურებას და უფრო მაღალ ტემპერატურულ წინააღმდეგობასSiC საიზოლაციო.ლაბორატორიულმა გაზომვებმა აჩვენა, რომ ჩვენიTaC საიზოლაციოშეუძლია მუდმივად იმუშაოს 2300 გრადუს ცელსიუსამდე ტემპერატურაზე ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში. ქვემოთ მოცემულია ჩვენი ნიმუშების რამდენიმე მაგალითი:
