ტანტალის კარბიდით დაფარული გრაფიტის ფურცელიარის გრაფიტის მასალა თხელი ფენითტანტალის კარბიდისუბსტრატის ზედაპირზე. ტანტალის კარბიდის თხელი ფენა ჩვეულებრივ წარმოიქმნება გრაფიტის სუბსტრატის ზედაპირზე ისეთი ტექნიკით, როგორიცაა ფიზიკური ორთქლის დეპონირება (PVD) ან ქიმიური ორთქლის დეპონირება (CVD). ამ საფარს აქვს შესანიშნავი თვისებები, როგორიცაა მაღალი სიმტკიცე, შესანიშნავი აცვიათ წინააღმდეგობა, კოროზიის წინააღმდეგობა და მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა.
Semicera უზრუნველყოფს სპეციალიზებულ ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს სხვადასხვა კომპონენტებისა და მატარებლებისთვის.Semicera წამყვანი დაფარვის პროცესი საშუალებას აძლევს ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს მიაღწიონ მაღალ სისუფთავეს, მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას და მაღალ ქიმიურ ტოლერანტობას, აუმჯობესებს SIC/GAN კრისტალების და EPI ფენების პროდუქტის ხარისხს.გრაფიტით დაფარული TaC მგრძნობელობა) და რეაქტორის ძირითადი კომპონენტების სიცოცხლის გახანგრძლივება. ტანტალის კარბიდის TaC საფარის გამოყენება მიზნად ისახავს ზღვარზე პრობლემის გადაჭრას და კრისტალების ზრდის ხარისხის გაუმჯობესებას, ხოლო Semicera-მა გარღვევა მოაგვარა ტანტალის კარბიდის საფარის ტექნოლოგია (CVD), მიაღწია საერთაშორისო მოწინავე დონეს.
წლების განვითარების შემდეგ, Semicera-მ დაიპყრო ტექნოლოგიაCVD TaCR&D დეპარტამენტის ერთობლივი ძალისხმევით. დეფექტები ადვილად წარმოიქმნება SiC ვაფლის ზრდის პროცესში, მაგრამ გამოყენების შემდეგTaC, განსხვავება მნიშვნელოვანია. ქვემოთ მოცემულია ვაფლების შედარება TaC-ით და მის გარეშე, ასევე Simicera' ნაწილების ერთკრისტალური ზრდისთვის.
ტანტალის კარბიდის დაფარული გრაფიტის ფურცლის ძირითადი უპირატესობები მოიცავს:
1. მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა: ტანტალის კარბიდს აქვს მაღალი დნობის წერტილი და შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა, რაც აქცევს დაფარულ გრაფიტის ფურცელს შესაფერისი მაღალი ტემპერატურის გარემოში გამოსაყენებლად.
2. კოროზიის წინააღმდეგობა: ტანტალის კარბიდის საფარს შეუძლია წინააღმდეგობა გაუწიოს მრავალი ქიმიური კოროზიული ნივთიერების ეროზიას და გაახანგრძლივოს მასალის მომსახურების ვადა.
3. მაღალი სიხისტე: ტანტალის კარბიდის თხელი ფენის მაღალი სიხისტე უზრუნველყოფს კარგ ცვეთა წინააღმდეგობას და შესაფერისია აპლიკაციებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ აცვიათ მაღალ წინააღმდეგობას.
4. ქიმიური სტაბილურობა: ტანტალის კარბიდის საფარს აქვს შესანიშნავი სტაბილურობა ქიმიური კოროზიის მიმართ და შესაფერისია ზოგიერთ კოროზიულ მედიაში გამოსაყენებლად.
TaC-ით და მის გარეშე
TaC გამოყენების შემდეგ (მარჯვნივ)
უფრო მეტიც, Semicera-სTaC დაფარული პროდუქტებიაჩვენებენ უფრო ხანგრძლივ მომსახურებას და უფრო მაღალ ტემპერატურულ წინააღმდეგობასSiC საიზოლაციო.ლაბორატორიულმა გაზომვებმა აჩვენა, რომ ჩვენიTaC საიზოლაციოშეუძლია მუდმივად იმუშაოს 2300 გრადუს ცელსიუსამდე ტემპერატურაზე ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში. ქვემოთ მოცემულია ჩვენი ნიმუშების რამდენიმე მაგალითი:
