Semicera უზრუნველყოფს სპეციალიზებულ ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს სხვადასხვა კომპონენტებისა და მატარებლებისთვის.Semicera წამყვანი დაფარვის პროცესი საშუალებას აძლევს ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს მიაღწიონ მაღალ სისუფთავეს, მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას და მაღალ ქიმიურ ტოლერანტობას, აუმჯობესებს SIC/GAN კრისტალების და EPI ფენების პროდუქტის ხარისხს.გრაფიტით დაფარული TaC მგრძნობელობა) და რეაქტორის ძირითადი კომპონენტების სიცოცხლის გახანგრძლივება. ტანტალის კარბიდის TaC საფარის გამოყენება მიზნად ისახავს ზღვარზე პრობლემის გადაჭრას და კრისტალების ზრდის ხარისხის გაუმჯობესებას, ხოლო Semicera-მა გარღვევა მოაგვარა ტანტალის კარბიდის საფარის ტექნოლოგია (CVD), მიაღწია საერთაშორისო მოწინავე დონეს.
ტანტალის კარბიდით დაფარული ვაფლის მატარებლები ფართოდ გამოიყენება ვაფლის დამუშავებისა და დამუშავების პროცესებში ნახევარგამტარების წარმოების პროცესებში. ისინი უზრუნველყოფენ სტაბილურ მხარდაჭერას და დაცვას, რათა უზრუნველყონ ვაფლის უსაფრთხოება, სიზუსტე და თანმიმდევრულობა წარმოების პროცესში. ტანტალის კარბიდის საფარებს შეუძლია გაახანგრძლივოს გადამზიდის მომსახურების ვადა, შეამციროს ხარჯები და გააუმჯობესოს ნახევარგამტარული პროდუქტების ხარისხი და საიმედოობა.
ტანტალის კარბიდით დაფარული ვაფლის მატარებლის აღწერა შემდეგია:
1. მასალის შერჩევა: ტანტალის კარბიდი არის მასალა შესანიშნავი შესრულებით, მაღალი სიმტკიცე, მაღალი დნობის წერტილი, კოროზიის წინააღმდეგობა და შესანიშნავი მექანიკური თვისებები, ამიტომ იგი ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში.
2. ზედაპირის საფარი: ტანტალის კარბიდის საფარი გამოიყენება ვაფლის მატარებლის ზედაპირზე სპეციალური დაფარვის პროცესის მეშვეობით, რათა წარმოიქმნას ერთიანი და მკვრივი ტანტალის კარბიდის საფარი. ამ საფარს შეუძლია უზრუნველყოს დამატებითი დაცვა და აცვიათ წინააღმდეგობა, კარგი თერმული კონდუქტომეტრით.
3. სიბრტყე და სიზუსტე: ტანტალის კარბიდით დაფარული ვაფლის მატარებელს აქვს სიბრტყის და სიზუსტის მაღალი ხარისხი, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის სტაბილურობას და სიზუსტეს წარმოების პროცესში. გადამზიდი ზედაპირის სიბრტყე და დასრულება გადამწყვეტია ვაფლის ხარისხისა და მუშაობის უზრუნველსაყოფად.
4. ტემპერატურის სტაბილურობა: ტანტალის კარბიდით დაფარული ვაფლის მატარებლებს შეუძლიათ შეინარჩუნონ სტაბილურობა მაღალი ტემპერატურის გარემოში დეფორმაციის ან შესუსტების გარეშე, რაც უზრუნველყოფს ვაფლის სტაბილურობას და თანმიმდევრულობას მაღალი ტემპერატურის პროცესებში.
5. კოროზიის წინააღმდეგობა: ტანტალის კარბიდის საფარებს აქვს შესანიშნავი კოროზიის წინააღმდეგობა, შეუძლია წინააღმდეგობა გაუწიოს ქიმიკატების და გამხსნელების ეროზიას და დაიცვას გადამზიდავი თხევადი და აირის კოროზიისგან.
TaC-ით და მის გარეშე
TaC გამოყენების შემდეგ (მარჯვნივ)
უფრო მეტიც, Semicera-სTaC დაფარული პროდუქტებიაჩვენებენ უფრო ხანგრძლივ მომსახურებას და უფრო მაღალ ტემპერატურულ წინააღმდეგობასSiC საიზოლაციო.ლაბორატორიულმა გაზომვებმა აჩვენა, რომ ჩვენიTaC საიზოლაციოშეუძლია მუდმივად იმუშაოს 2300 გრადუს ცელსიუსამდე ტემპერატურაზე ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში. ქვემოთ მოცემულია ჩვენი ნიმუშების რამდენიმე მაგალითი:
