TaC დაფარული გრაფიტის სახელმძღვანელო რგოლებიეხება თხელი ფენის დეპონირებასტანტალის კარბიდიგრაფიტის სახელმძღვანელო რგოლის ზედაპირზე მისი აცვიათ წინააღმდეგობის გასაუმჯობესებლად, მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობისა და ქიმიური სტაბილურობის გასაუმჯობესებლად. ეს საფარი ჩვეულებრივ ფორმირდება გრაფიტის სახელმძღვანელო რგოლის ზედაპირზე ისეთი ტექნიკით, როგორიცაა ფიზიკური ორთქლის დეპონირება (PVD) ან ქიმიური ორთქლის დეპონირება (CVD).
Semicera უზრუნველყოფს სპეციალიზებულ ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს სხვადასხვა კომპონენტებისა და მატარებლებისთვის.Semicera წამყვანი დაფარვის პროცესი საშუალებას აძლევს ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს მიაღწიონ მაღალ სისუფთავეს, მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას და მაღალ ქიმიურ ტოლერანტობას, აუმჯობესებს SIC/GAN კრისტალების და EPI ფენების პროდუქტის ხარისხს.გრაფიტით დაფარული TaC მგრძნობელობა) და რეაქტორის ძირითადი კომპონენტების სიცოცხლის გახანგრძლივება. ტანტალის კარბიდის TaC საფარის გამოყენება მიზნად ისახავს ზღვარზე პრობლემის გადაჭრას და კრისტალების ზრდის ხარისხის გაუმჯობესებას, ხოლო Semicera-მა გარღვევა მოაგვარა ტანტალის კარბიდის საფარის ტექნოლოგია (CVD), მიაღწია საერთაშორისო მოწინავე დონეს.
წლების განვითარების შემდეგ, Semicera-მ დაიპყრო ტექნოლოგიაCVD TaCR&D დეპარტამენტის ერთობლივი ძალისხმევით. დეფექტები ადვილად წარმოიქმნება SiC ვაფლის ზრდის პროცესში, მაგრამ გამოყენების შემდეგTaC, განსხვავება მნიშვნელოვანია. ქვემოთ მოცემულია ვაფლების შედარება TaC-ით და მის გარეშე, ასევე Simicera' ნაწილების ერთკრისტალური ზრდისთვის.
TaC დაფარული გრაფიტის სახელმძღვანელო რგოლების ძირითადი მახასიათებლები მოიცავს:
1. მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა: TaC საფარი აქვს მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას და შეუძლია შეინარჩუნოს სტაბილურობა მაღალი ტემპერატურის გარემოში.
2. აცვიათ წინააღმდეგობა: ტანტალის კარბიდის თხელი ფენის მაღალი სიმტკიცე აძლევს სახელმძღვანელო რგოლს კარგ ცვეთა წინააღმდეგობას და ახანგრძლივებს მის ექსპლუატაციას.
3. ქიმიური სტაბილურობა: TaC საფარს აქვს მაღალი სტაბილურობა ქიმიური კოროზიის მიმართ, რაც მას შესაფერისს ხდის ზოგიერთ კოროზიულ მედიაში გამოსაყენებლად.
4. ხახუნის შემცირება: TaC საფარს შეუძლია ეფექტურად შეამციროს ხახუნი გრაფიტის სახელმძღვანელო რგოლსა და სხვა კომპონენტებს შორის და გააუმჯობესოს მექანიკური ბეჭდების ეფექტურობა.
TaC-ით და მის გარეშე
TaC გამოყენების შემდეგ (მარჯვნივ)
უფრო მეტიც, Semicera-სTaC დაფარული პროდუქტებიაჩვენებენ უფრო ხანგრძლივ მომსახურებას და უფრო მაღალ ტემპერატურულ წინააღმდეგობასSiC საიზოლაციო.ლაბორატორიულმა გაზომვებმა აჩვენა, რომ ჩვენიTaC საიზოლაციოშეუძლია მუდმივად იმუშაოს 2300 გრადუს ცელსიუსამდე ტემპერატურაზე ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში. ქვემოთ მოცემულია ჩვენი ნიმუშების რამდენიმე მაგალითი:
