Semicera უზრუნველყოფს სპეციალიზებულ ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს სხვადასხვა კომპონენტებისა და მატარებლებისთვის.Semicera წამყვანი დაფარვის პროცესი საშუალებას აძლევს ტანტალის კარბიდის (TaC) საფარებს მიაღწიონ მაღალ სისუფთავეს, მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას და მაღალ ქიმიურ ტოლერანტობას, აუმჯობესებს SIC/GAN კრისტალების და EPI ფენების პროდუქტის ხარისხს.გრაფიტით დაფარული TaC მგრძნობელობა) და რეაქტორის ძირითადი კომპონენტების სიცოცხლის გახანგრძლივება. ტანტალის კარბიდის TaC საფარის გამოყენება მიზნად ისახავს ზღვარზე პრობლემის გადაჭრას და კრისტალების ზრდის ხარისხის გაუმჯობესებას, ხოლო Semicera-მა გარღვევა მოაგვარა ტანტალის კარბიდის საფარის ტექნოლოგია (CVD), მიაღწია საერთაშორისო მოწინავე დონეს.
სილიციუმის კარბიდი (SiC) არის ძირითადი მასალა მესამე თაობის ნახევარგამტარებში, მაგრამ მისი მოსავლიანობის მაჩვენებელი ინდუსტრიის ზრდის შემზღუდველი ფაქტორია. Semicera-ს ლაბორატორიებში ვრცელი ტესტირების შემდეგ, აღმოჩნდა, რომ შესხურებულ და აგლომერირებულ TaC-ს არ გააჩნია აუცილებელი სისუფთავე და ერთგვაროვნება. ამის საპირისპიროდ, CVD პროცესი უზრუნველყოფს 5 PPM სისუფთავის დონეს და შესანიშნავ ერთგვაროვნებას. CVD TaC-ის გამოყენება მნიშვნელოვნად აუმჯობესებს სილიციუმის კარბიდის ვაფლის მოსავლიანობის მაჩვენებელს. ჩვენ მივესალმებით დისკუსიებსTaC დაფარული გრაფიტის სამსეგმენტიანი რგოლები SiC ვაფლის ხარჯების შემდგომი შემცირების მიზნით.
წლების განვითარების შემდეგ, Semicera-მ დაიპყრო ტექნოლოგიაCVD TaCR&D დეპარტამენტის ერთობლივი ძალისხმევით. დეფექტები ადვილად წარმოიქმნება SiC ვაფლის ზრდის პროცესში, მაგრამ გამოყენების შემდეგTaC, განსხვავება მნიშვნელოვანია. ქვემოთ მოცემულია ვაფლების შედარება TaC-ით და მის გარეშე, ასევე Simicera' ნაწილების ერთკრისტალური ზრდისთვის.
TaC-ით და მის გარეშე
TaC გამოყენების შემდეგ (მარჯვნივ)
უფრო მეტიც, Semicera-სTaC დაფარული პროდუქტებიაჩვენებენ უფრო ხანგრძლივ მომსახურებას და უფრო მაღალ ტემპერატურულ წინააღმდეგობასSiC საიზოლაციო.ლაბორატორიულმა გაზომვებმა აჩვენა, რომ ჩვენიTaC საიზოლაციოშეუძლია მუდმივად იმუშაოს 2300 გრადუს ცელსიუსამდე ტემპერატურაზე ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში. ქვემოთ მოცემულია ჩვენი ნიმუშების რამდენიმე მაგალითი:
