სი ეპიტაქსია

მოკლე აღწერა:

სი ეპიტაქსია– მიაღწიეთ მოწყობილობის მაღალ ეფექტურობას Semicera-ს Si Epitaxy-ით, რომელიც გთავაზობთ სილიკონის სილიკონის ფენების სიზუსტით მოწინავე ნახევარგამტარული აპლიკაციებისთვის.


პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

ნახევარკერაწარმოგიდგენთ მის მაღალ ხარისხსსი ეპიტაქსიამომსახურება, შექმნილია დღევანდელი ნახევარგამტარული ინდუსტრიის ზუსტი სტანდარტების დასაკმაყოფილებლად. ეპიტაქსიალური სილიკონის ფენები გადამწყვეტია ელექტრონული მოწყობილობების მუშაობისა და საიმედოობისთვის და ჩვენი Si Epitaxy გადაწყვეტილებები უზრუნველყოფს თქვენი კომპონენტების ოპტიმალურ ფუნქციონირებას.

სილიკონის ფენების ზუსტი ზრდა ნახევარკერაესმის, რომ მაღალი ხარისხის მოწყობილობების საფუძველი გამოყენებული მასალების ხარისხშია. ჩვენისი ეპიტაქსიაპროცესი ზედმიწევნით კონტროლდება სილიკონის ფენების წარმოებისთვის განსაკუთრებული ერთგვაროვნებით და კრისტალური მთლიანობით. ეს ფენები აუცილებელია აპლიკაციებისთვის, დაწყებული მიკროელექტრონიკიდან მოწინავე ენერგეტიკული მოწყობილობებით დამთავრებული, სადაც თანმიმდევრულობა და საიმედოობა უმთავრესია.

ოპტიმიზებულია მოწყობილობის მუშაობისთვისTheსი ეპიტაქსიაSemicera-ს მიერ შემოთავაზებული სერვისები მორგებულია თქვენი მოწყობილობების ელექტრული თვისებების გასაუმჯობესებლად. მაღალი სისუფთავის სილიკონის ფენების გაზრდით დაბალი დეფექტების სიმკვრივით, ჩვენ უზრუნველვყოფთ, რომ თქვენი კომპონენტები მუშაობენ საუკეთესოდ, გაუმჯობესებული მატარებლის მობილურობით და მინიმალური ელექტრული წინაღობით. ეს ოპტიმიზაცია გადამწყვეტია თანამედროვე ტექნოლოგიების მიერ მოთხოვნილი მაღალი სიჩქარისა და მაღალი ეფექტურობის მახასიათებლების მისაღწევად.

მრავალფეროვნება აპლიკაციებში ნახევარკერასი ეპიტაქსიაშესაფერისია აპლიკაციების ფართო სპექტრისთვის, მათ შორის CMOS ტრანზისტორების, დენის MOSFET-ების და ბიპოლარული შეერთების ტრანზისტორების წარმოებისთვის. ჩვენი მოქნილი პროცესი საშუალებას გაძლევთ დააკონფიგურიროთ თქვენი პროექტის სპეციფიკური მოთხოვნებიდან გამომდინარე, იქნება ეს თხელი ფენები მაღალი სიხშირის აპლიკაციებისთვის თუ სქელი ფენები ელექტრო მოწყობილობებისთვის.

მასალის უმაღლესი ხარისხიხარისხი არის ყველაფრის საფუძველი, რასაც ვაკეთებთ Semicera-ში. ჩვენისი ეპიტაქსიაპროცესი იყენებს უახლესი ტექნიკისა და ტექნიკის უზრუნველსაყოფად, რომ სილიკონის თითოეული ფენა აკმაყოფილებს სისუფთავისა და სტრუქტურული მთლიანობის უმაღლეს სტანდარტებს. დეტალებისადმი ეს ყურადღება ამცირებს დეფექტების წარმოქმნას, რამაც შეიძლება გავლენა მოახდინოს მოწყობილობის მუშაობაზე, რაც გამოიწვევს უფრო საიმედო და ხანგრძლივ კომპონენტებს.

ინოვაციისადმი ერთგულება ნახევარკერამოწოდებულია დარჩეს ნახევარგამტარული ტექნოლოგიების წინა პლანზე. ჩვენისი ეპიტაქსიასერვისები ასახავს ამ ვალდებულებას, მოიცავს ეპიტაქსიური ზრდის ტექნიკის უახლეს მიღწევებს. ჩვენ მუდმივად ვახვეწავთ ჩვენს პროცესებს, რათა მივაწოდოთ სილიკონის ფენები, რომლებიც აკმაყოფილებს ინდუსტრიის განვითარებად საჭიროებებს, რაც უზრუნველყოფს თქვენი პროდუქციის კონკურენტუნარიანობას ბაზარზე.

მორგებული გადაწყვეტილებები თქვენს საჭიროებებზეიმის გაგება, რომ ყველა პროექტი უნიკალურია,ნახევარკერაგთავაზობთ მორგებულსსი ეპიტაქსიაგადაწყვეტილებები, რომლებიც შეესაბამება თქვენს სპეციფიკურ საჭიროებებს. თუ თქვენ გჭირდებათ კონკრეტული დოპინგ პროფილები, ფენის სისქე ან ზედაპირის მოპირკეთება, ჩვენი გუნდი მჭიდროდ თანამშრომლობს თქვენთან, რათა მოგაწოდოთ პროდუქტი, რომელიც აკმაყოფილებს თქვენს ზუსტ სპეციფიკაციებს.

ნივთები

წარმოება

კვლევა

მატყუარა

კრისტალური პარამეტრები

პოლიტიპი

4H

ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა

<11-20 >4±0,15°

ელექტრული პარამეტრები

დოპანტი

n ტიპის აზოტი

წინააღმდეგობა

0,015-0,025ohm·cm

მექანიკური პარამეტრები

დიამეტრი

150,0±0,2 მმ

სისქე

350±25 მკმ

პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია

[1-100]±5°

პირველადი ბრტყელი სიგრძე

47,5±1,5 მმ

მეორადი ბინა

არცერთი

TTV

≤5 მკმ

≤10 მკმ

≤15 მკმ

LTV

≤3 μm (5 მმ*5 მმ)

≤5 μm (5 მმ*5 მმ)

≤10 μm (5 მმ*5 მმ)

მშვილდი

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

გადახვევა

≤35 მკმ

≤45 მკმ

≤55 მკმ

წინა (Si-face) უხეშობა (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

სტრუქტურა

მიკრომილის სიმკვრივე

<1 ეა/სმ2

<10 ეა/სმ2

<15 ეა/სმ2

ლითონის მინარევები

≤5E10 ატომები/სმ2

NA

BPD

≤1500 ეა/სმ2

≤3000 ეა/სმ2

NA

TSD

≤500 ეა/სმ2

≤1000 ეა/სმ2

NA

წინა ხარისხი

წინა

Si

ზედაპირის დასრულება

Si-face CMP

ნაწილაკები

≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm)

NA

ნაკაწრები

≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი

კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი

NA

ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება

არცერთი

NA

კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები

არცერთი

პოლიტიპური უბნები

არცერთი

კუმულაციური ფართობი≤20%

კუმულაციური ფართობი≤30%

წინა ლაზერული მარკირება

არცერთი

უკან ხარისხი

უკანა დასრულება

C-სახის CMP

ნაკაწრები

≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი

NA

უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა)

არცერთი

ზურგის უხეშობა

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

უკანა ლაზერული მარკირება

1 მმ (ზედა კიდიდან)

ზღვარი

ზღვარი

ჩამფერი

შეფუთვა

შეფუთვა

Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით

მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა

*შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს.

tech_1_2_size
SiC ვაფლები

  • წინა:
  • შემდეგი: