ნახევარკერაწარუდგენსნახევარგამტარული კასეტა, აუცილებელი ინსტრუმენტი ვაფლის უსაფრთხო და ეფექტური მუშაობისთვის ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში. მაღალი სიზუსტით შემუშავებული ეს კასეტა უზრუნველყოფს თქვენი ვაფლის უსაფრთხოდ შენახვას და ტრანსპორტირებას, ინარჩუნებს მათ მთლიანობას ყველა ეტაპზე.
უმაღლესი დაცვა და გამძლეობაTheნახევარგამტარული კასეტასაწყისი Semicera შექმნილია იმისათვის, რომ უზრუნველყოს თქვენი ვაფლის მაქსიმალური დაცვა. დამზადებულია გამძლე, დაბინძურებისადმი მდგრადი მასალებისგან, ის იცავს თქვენს ვაფლს პოტენციური დაზიანებისა და დაბინძურებისგან, რაც მას იდეალურ არჩევანს ხდის სუფთა ოთახის გარემოში. კასეტის დიზაინი მინიმუმამდე ამცირებს ნაწილაკების წარმოქმნას და უზრუნველყოფს ვაფლის ხელუხლებლად და უსაფრთხოდ დარჩენას დამუშავებისა და ტრანსპორტირების დროს.
გაუმჯობესებული დიზაინი ოპტიმალური მუშაობისთვისნახევარკერანახევარგამტარული კასეტააქვს ზედმიწევნით შემუშავებული დიზაინი, რომელიც უზრუნველყოფს ვაფლის ზუსტ გასწორებას, ამცირებს არასწორი განლაგების და მექანიკური დაზიანების რისკს. კასეტის ჭრილები მშვენივრად არის განლაგებული თითოეული ვაფლის შესანარჩუნებლად, რაც ხელს უშლის ნებისმიერ მოძრაობას, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ნაკაწრები ან სხვა ნაკლოვანებები.
მრავალფეროვნება და თავსებადობაTheნახევარგამტარული კასეტაარის მრავალმხრივი და თავსებადი ვაფლის სხვადასხვა ზომებთან, რაც შესაფერისს ხდის ნახევარგამტარების დამზადების სხვადასხვა ეტაპებს. მიუხედავად იმისა, მუშაობთ სტანდარტული ან მორგებული ვაფლის ზომებით, ეს კასეტა ადაპტირდება თქვენს საჭიროებებზე და გთავაზობთ მოქნილობას თქვენს წარმოების პროცესებში.
გამარტივებული მართვა და ეფექტურობაშექმნილია მომხმარებლის გათვალისწინებით,ნახევრადგამტარული კასეტაარის მსუბუქი და ადვილად დასამუშავებელი, რაც იძლევა სწრაფ და ეფექტურ ჩატვირთვასა და გადმოტვირთვას. ეს ერგონომიული დიზაინი არა მხოლოდ დაზოგავს დროს, არამედ ამცირებს ადამიანური შეცდომის რისკს, რაც უზრუნველყოფს თქვენს დაწესებულებაში გამართულ მუშაობას.
ინდუსტრიის სტანდარტების დაკმაყოფილებაSemicera უზრუნველყოფს, რომნახევარგამტარული კასეტააკმაყოფილებს ინდუსტრიის უმაღლეს სტანდარტებს ხარისხისა და საიმედოობისთვის. თითოეული კასეტა გადის მკაცრ ტესტირებას, რათა გარანტირებული იყოს, რომ ის მუშაობს ნახევარგამტარების წარმოების რთულ პირობებში. ხარისხისადმი ეს ერთგულება უზრუნველყოფს, რომ თქვენი ვაფლები ყოველთვის დაცული იყოს ინდუსტრიაში საჭირო მაღალი სტანდარტების შენარჩუნებით.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / თექვსმეტი ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკან დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლიანი კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
