ვაფლის მატარებლის დანერგვა
პროდუქციის კატეგორია
▶ვაფლის გადამზიდავი სისტემა PECVD & TALOX პროცესისთვის
• PECVD & TALOX გრაფიტის ნავი (M4~M12)
• ვერტიკალური SM-ნავი (M4, M6)
• იმპლანტისა და შხაპის გრაფიტის ნაწილი (M4~M6)
• C/C უჯრა და კერამიკული საფარი
• ლითონის RIE-საფენი და კერამიკული საფარი
• ვაკუუმური დალუქვა: O-Ring & SQ-Ring
▶ტექსტურირება და სველი ოქროვის გადაცემის პროცესი
• LSC H-Carrier ან კასეტა (M4~M12)
• LSC V-Carrier ან კასეტა (M4~M12)
• ASC Carrier ან კასეტა (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• სატრანსპორტო საჭე (Roller) სერია
▶მზის უჯრედების გადამზიდავი და ლითონის გადამზიდავი
• TRC Carrier ან კასეტა (M4~M12)
• ჟურნალი (BELT-ით)
გრაფიტის ნავი (H-ტიპი)
19P6-216CT (WF M4~M12)
გრაფიტის ნავი (H-ტიპი)
21P6-240CT WF M4~M12)
გრაფიტის ნავი (H-ტიპი)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
გრაფიტის ნავი (H-ტიპი)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
გრაფიტის ნავი (H-ტიპი)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~ M12)
C/C უჯრა ან CARRIER (M4~M10)
C/C უჯრა ან CARRIER (M4~M10)
ვერტიკალური ნავი (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~ M12)
LSC-V-CARRIER (~ M12)
ASC CARRIER (~ M6)
TRC CARRIER (~ M12)
TRC CARRIER (~ M12)
GRAPHITE-BOAT (M12)
ვაფლის გადამზიდავი სისტემა PECVD პროცესისთვის
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M10/M12 პროცესი
• სპეციალური დიზაინის კონცეფცია
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M4/M6 პროცესი
▶ BOAT აქსესუარების ნაწილები
▶ ვერტიკალური ნავი-161.7მმ ვაფლი
▶ ვერტიკალური ნავი-166მმ ვაფლი
▶ ვერტიკალური ნავი-161.7 მმ, 166 მმ ვაფლი
Solar Cell Carrier & Metal TRC Carrier
ტიპი: ავტომატიზაცია
ვაფლის ზომა: ① 156×156 მმ ② 156,75×156,75 მმ
③ 161.7x161.7 მმ ④166x166 მმ
⑤ 180×180 მმ ⑥ 210×210 მმ
გამოყენება: ტარება (კასეტა)
მოცულობა: 100 ფურცელი
სიმაღლე: 4.76 მმ/5.953 მმ/6.35 მმ
ზომა: დაახლოებით 559×220×220 მმ
დაახლოებით 712×260×260 მმ
უპირატესობა: ატმოსფერო
მასალა: ალი, გვერდითი ბარი-ალუმინი (ანოდირება)
გვერდითი ფირფიტა-POM (ანტისტატიკური)
ქვედა ზოლის საფარი-EPDM/PU/VITON (ASE)