რა არის ძირითადი საფეხურები SiC სუბსტრატების დამუშავებისას?

როგორ ვაწარმოებთ-დამუშავების ეტაპებს SiC სუბსტრატებისთვის შემდეგია:

1. ბროლის ორიენტაცია: რენტგენის დიფრაქციის გამოყენებით ბროლის კალმის ორიენტირება. როდესაც რენტგენის სხივი მიმართულია სასურველ ბროლის მხარეს, დიფრაქციული სხივის კუთხე განსაზღვრავს ბროლის ორიენტაციას.

2. გარე დიამეტრის დაფქვა: გრაფიტის ჭურჭელში მოყვანილი ერთკრისტალები ხშირად აღემატება სტანდარტულ დიამეტრებს. გარე დიამეტრის სახეხი ამცირებს მათ სტანდარტულ ზომებამდე.

 

3.End Face Grinding: 4-inch 4H-SiC სუბსტრატებს, როგორც წესი, აქვთ ორი პოზიციონირების კიდე, პირველადი და მეორადი. ბოლო სახის სახეხი ხსნის ამ პოზიციონირების კიდეებს.

4. მავთულის ხერხი: მავთულის ხერხი გადამწყვეტი ნაბიჯია 4H-SiC სუბსტრატების დამუშავებაში. მავთულის ჭრის დროს გამოწვეული ბზარები და ზედაპირული დაზიანება უარყოფითად მოქმედებს შემდგომ პროცესებზე, ახანგრძლივებს დამუშავების დროს და იწვევს მატერიალურ დანაკარგს. ყველაზე გავრცელებული მეთოდია ბრილიანტის აბრაზივით მრავალმავთულის ხერხი. 4H-SiC ინგოტის მოსაჭრელად გამოიყენება ალმასის აბრაზიებით შეკრული ლითონის მავთულის ორმხრივი მოძრაობა.

5. ჩაღრმავება: კიდეების დაჭყლეტის თავიდან ასაცილებლად და შემდგომი პროცესების დროს სახარჯო დანაკარგების შესამცირებლად, მავთულხლართით დახრილი ჩიპების მკვეთრი კიდეები იჭრება მითითებულ ფორმებამდე.

6. გათხელება: მავთულის ხერხი ტოვებს ბევრ ნაკაწრს და ზედაპირულ ზიანს. გათხელება ხდება ბრილიანტის ბორბლების გამოყენებით ამ დეფექტების მაქსიმალურად მოსაშორებლად.

7. დაფქვა: ეს პროცესი მოიცავს უხეშ დაფქვას და წვრილ დაფქვას უფრო მცირე ზომის ბორის კარბიდის ან ალმასის აბრაზიების გამოყენებით ნარჩენი დაზიანებების მოსაშორებლად და შეთხელების დროს წარმოქმნილი ახალი დაზიანებების მოსაშორებლად.

8. გაპრიალება: საბოლოო საფეხურები მოიცავს უხეშ გაპრიალებას და წვრილ გაპრიალებას ალუმინის ან სილიციუმის ოქსიდის აბრაზიული საშუალებების გამოყენებით. გასაპრიალებელი სითხე არბილებს ზედაპირს, რომელიც შემდეგ მექანიკურად ამოღებულია აბრაზიებით. ეს ნაბიჯი უზრუნველყოფს გლუვ და დაუზიანებელ ზედაპირს.

9. გაწმენდა: ნაწილაკების, ლითონების, ოქსიდის ფენების, ორგანული ნარჩენების და სხვა დამაბინძურებლების მოცილება დამუშავების საფეხურებიდან.