აღწერა
ნახევარგამტარული ეპიტაქსიალური ზრდისთვის MOCVD Susceptor, წამყვანი გადაწყვეტა, რომელიც შექმნილია ეპიტაქსიური ზრდის პროცესის ოპტიმიზაციისთვის ნახევარგამტარული აპლიკაციებისთვის. Semicera-ს MOCVD Susceptor უზრუნველყოფს ტემპერატურისა და მასალის დეპონირების ზუსტ კონტროლს, რაც მას იდეალურ არჩევანს ხდის მაღალი ხარისხის Si ეპიტაქსიისა და SiC ეპიტაქსიის მისაღწევად. მისი მტკიცე კონსტრუქცია და მაღალი თბოგამტარობა იძლევა მუდმივ მუშაობას მომთხოვნ გარემოში, რაც უზრუნველყოფს ეპიტაქსიური ზრდის სისტემებისთვის საჭირო საიმედოობას.
ეს MOCVD Susceptor თავსებადია სხვადასხვა ეპიტაქსიალურ აპლიკაციებთან, მათ შორის მონოკრისტალური სილიკონის წარმოებასა და GaN-ის ზრდა SiC ეპიტაქსიაზე, რაც მას აუცილებელ კომპონენტად აქცევს მწარმოებლებისთვის, რომლებიც ეძებენ უმაღლესი დონის შედეგებს. გარდა ამისა, ის შეუფერხებლად მუშაობს PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier და RTP Carrier სისტემებთან, რაც ზრდის პროცესის ეფექტურობას და მოსავლიანობას. სუსცეპტორი ასევე შესაფერისია LED ეპიტაქსიალური სუსცეპტორის გამოყენებისთვის და ნახევარგამტარების წარმოების სხვა მოწინავე პროცესებისთვის.
თავისი მრავალმხრივი დიზაინით, semicera's MOCVD susceptor შეიძლება ადაპტირებული იყოს ბლინების სუსცეპტორებში და ლულის სუსცეპტორებში გამოსაყენებლად, რაც გთავაზობთ მოქნილობას სხვადასხვა წარმოების დაყენებაში. ფოტოელექტრული ნაწილების ინტეგრაცია კიდევ უფრო აფართოებს მის გამოყენებას, რაც მას იდეალურს ხდის როგორც ნახევარგამტარული, ასევე მზის ინდუსტრიისთვის. ეს მაღალი ხარისხის გადაწყვეტა უზრუნველყოფს შესანიშნავი თერმული სტაბილურობას და გამძლეობას, რაც უზრუნველყოფს ხანგრძლივ ეფექტურობას ეპიტაქსიალური ზრდის პროცესებში.
ძირითადი მახასიათებლები
1 .მაღალი სისუფთავის SiC დაფარული გრაფიტი
2. უმაღლესი სითბოს წინააღმდეგობა და თერმული ერთგვაროვნება
3. წვრილი SiC კრისტალი დაფარული გლუვი ზედაპირისთვის
4. მაღალი გამძლეობა ქიმიური გაწმენდის წინააღმდეგ
CVD-SIC საფარების ძირითადი სპეციფიკაციები:
SiC-CVD | ||
სიმჭიდროვე | (გ/კმ) | 3.21 |
მოქნილობის სიმტკიცე | (მპა) | 470 |
თერმული გაფართოება | (10-6/K) | 4 |
თბოგამტარობა | (W/mK) | 300 |
შეფუთვა და მიწოდება
მიწოდების უნარი:
10000 ცალი/ცალი თვეში
შეფუთვა და მიწოდება:
შეფუთვა: სტანდარტული და ძლიერი შეფუთვა
პოლიჩანთა + ყუთი + მუყაო + პლატა
პორტი:
ნინგბო/შენჟენი/შანხაი
მიწოდების დრო:
რაოდენობა (ცალი) | 1 – 1000 | >1000 |
ეს დრო (დღეები) | 30 | მოსალაპარაკებლად |