მაღალი სისუფთავის SiC მატარებელი/მგრძნობიარე

მაღალი სისუფთავის SiC მატარებლის/მგრძნობიარე გამორჩეული სურათი

მოკლე აღწერა:

სილიციუმის კარბიდის ტარების დისკი ასევე ცნობილია, როგორც SIC უჯრა, სილიციუმის კარბიდის ოქროვის დისკი, ICP ოქროვის დისკი. სილიკონის კარბიდის უჯრა LED ოქროვისთვის (SiC უჯრა) φ600მმ არის სპეციალური აქსესუარი ღრმა სილიკონის ოქროვისთვის (ICP etching machine).

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი

პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

აღწერა

სილიკონის კარბიდის კერამიკას აქვს შესანიშნავი მექანიკური თვისებები ოთახის ტემპერატურაზე, როგორიცაა მაღალი სიმტკიცე, მაღალი სიმტკიცე, მაღალი ელასტიურობის მოდული და ა.შ. დამუშავების შესრულება.
ისინი განსაკუთრებით შესაფერისია ინტეგრირებული მიკროსქემის აღჭურვილობის ზუსტი კერამიკული ნაწილების დასამზადებლად, როგორიცაა ლითოგრაფიული აპარატები, ძირითადად გამოიყენება SiC მატარებლის/მგრძნობიარე, SiC ვაფლის ნავის, წოვის დისკის, წყლის გაგრილების ფირფიტის, ზუსტი საზომი რეფლექტორის, ბადეების და სხვა კერამიკული სტრუქტურული ნაწილების დასამზადებლად.

გადამზიდავი2

გადამზიდავი3

გადამზიდავი4

უპირატესობები

მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა: ნორმალური გამოყენება 1800 ℃
მაღალი თბოგამტარობა: გრაფიტის მასალის ექვივალენტური
მაღალი სიმტკიცე: სიხისტე მეორეა მხოლოდ ალმასის, ბორის ნიტრიდის შემდეგ
კოროზიის წინააღმდეგობა: ძლიერ მჟავას და ტუტეს არ აქვს კოროზია, კოროზიის წინააღმდეგობა უკეთესია, ვიდრე ვოლფრამის კარბიდი და ალუმინა
მსუბუქი წონა: დაბალი სიმკვრივე, ალუმინთან ახლოს
დეფორმაციის გარეშე: თერმული გაფართოების დაბალი კოეფიციენტი
თერმული შოკის წინააღმდეგობა: მას შეუძლია გაუძლოს ტემპერატურის მკვეთრ ცვლილებებს, გაუძლოს თერმულ შოკს და აქვს სტაბილური შესრულება
სილიციუმის კარბიდის გადამზიდავი, როგორიცაა sic etching carrier, ICP etching susceptor, ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარულ CVD-ში, ვაკუუმში და ა.შ.

უპირატესობები

საკუთრება	ღირებულება	მეთოდი
სიმჭიდროვე	3.21 გ/კს	ნიჟარა-float და განზომილება
სპეციფიკური სითბო	0,66 ჯ/გ °კ	პულსირებული ლაზერული ფლეშ
მოქნილობის სიმტკიცე	450 MPa560 MPa	4 წერტილიანი მოსახვევი, RT4 წერტილიანი მოსახვევი, 1300°
მოტეხილობის სიმტკიცე	2.94 მპა მ1/2	მიკროინდენტაცია
სიხისტე	2800	Vicker's, 500გრ დატვირთვა
ელასტიური მოდულიYoung's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt მოსახვევი, RT4 pt მოსახვევი, 1300 °C
მარცვლის ზომა	2 - 10 მკმ	SEM

კომპანიის პროფილი

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. არის მოწინავე ნახევარგამტარული კერამიკის წამყვანი მიმწოდებელი და ერთადერთი მწარმოებელი ჩინეთში, რომელსაც შეუძლია ერთდროულად უზრუნველყოს მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდის კერამიკა (განსაკუთრებით Recrystallized SiC) და CVD SiC საფარი. გარდა ამისა, ჩვენი კომპანია ასევე ერთგულია კერამიკული ველების მიმართ, როგორიცაა ალუმინა, ალუმინის ნიტრიდი, ცირკონია და სილიციუმის ნიტრიდი და ა.შ.

ჩვენი ძირითადი პროდუქტები, მათ შორისაა: სილიციუმის კარბიდის ამოსაჭრელი დისკი, სილიციუმის კარბიდის ნავის ბუქსირი, სილიციუმის კარბიდის ვაფლის ნავი (ფოტოელექტრული და ნახევარგამტარი), სილიციუმის კარბიდის ღუმელის მილი, სილიციუმის კარბიდის კონსოლი, სილიციუმის კარბიდის ჩამკეტები, სილიციუმის კარბიდის სხივი და ასევე, სილიციუმის კარბიდის სხივი და VD, ასევე, საფარი. პროდუქტები ძირითადად გამოიყენება ნახევარგამტარულ და ფოტოელექტრო მრეწველობაში, როგორიცაა მოწყობილობები კრისტალების ზრდისთვის, ეპიტაქსია, გრავირება, შეფუთვა, საფარი და დიფუზიური ღუმელები და ა.შ.
დაახლოებით (2)