Semicera-ს 6 დიუმიანი ნახევრად საიზოლაციო HPSI SiC ვაფლები შექმნილია თანამედროვე ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის მკაცრი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. განსაკუთრებული სისუფთავითა და თანმიმდევრულობით, ეს ვაფლები საიმედო საფუძველია მაღალი ეფექტურობის ელექტრონული კომპონენტების შესაქმნელად.
ეს HPSI SiC ვაფლები ცნობილია თავისი გამორჩეული თბოგამტარობითა და ელექტრული იზოლაციით, რაც გადამწყვეტია ენერგეტიკული მოწყობილობებისა და მაღალი სიხშირის სქემების მუშაობის ოპტიმიზაციისთვის. ნახევრად საიზოლაციო თვისებები ხელს უწყობს ელექტრული ჩარევის მინიმუმამდე შემცირებას და მოწყობილობის მაქსიმალური ეფექტურობის გაზრდას.
Semicera-ს მიერ გამოყენებული მაღალი ხარისხის წარმოების პროცესი უზრუნველყოფს, რომ თითოეულ ვაფლს ჰქონდეს ერთიანი სისქე და მინიმალური ზედაპირის დეფექტები. ეს სიზუსტე აუცილებელია მოწინავე აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა რადიოსიხშირული მოწყობილობები, დენის ინვერტორები და LED სისტემები, სადაც შესრულება და გამძლეობა არის ძირითადი ფაქტორები.
უახლესი წარმოების ტექნიკის გამოყენებით, Semicera გთავაზობთ ვაფლებს, რომლებიც არა მხოლოდ აკმაყოფილებს, არამედ აღემატება ინდუსტრიის სტანდარტებს. 6 დიუმიანი ზომა გთავაზობთ მოქნილობას წარმოების გაზრდისას, რომელიც ემსახურება როგორც კვლევით, ასევე კომერციულ აპლიკაციებს ნახევარგამტარულ სექტორში.
Semicera-ს 6 დიუმიანი ნახევრად საიზოლაციო HPSI SiC ვაფლის არჩევა ნიშნავს ინვესტიციას პროდუქტში, რომელიც უზრუნველყოფს თანმიმდევრულ ხარისხს და შესრულებას. ეს ვაფლები არის Semicera-ს ვალდებულების ნაწილი, გააუმჯობესოს ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის შესაძლებლობები ინოვაციური მასალებისა და ზედმიწევნითი ოსტატობის საშუალებით.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
