სილიციუმის კარბიდის (SiC) ერთკრისტალურ მასალას აქვს დიდი ზოლის სიგანე (~Si 3-ჯერ), მაღალი თბოგამტარობა (~Si 3.3-ჯერ ან GaAs 10-ჯერ), ელექტრონის გაჯერების მაღალი მიგრაციის სიჩქარე (~Si 2.5-ჯერ), მაღალი ავარიის ელექტროენერგია. ველი (~Si 10-ჯერ ან GaAs 5-ჯერ) და სხვა გამორჩეული მახასიათებლები.
მესამე თაობის ნახევარგამტარული მასალები ძირითადად მოიცავს SiC, GaN, ბრილიანტი და ა.შ., რადგან მისი ზოლის უფსკრული სიგანე (მაგ.) მეტია ან ტოლია 2.3 ელექტრონ ვოლტზე (eV), ასევე ცნობილია, როგორც ფართო ზოლის უფსკრული ნახევარგამტარული მასალები.პირველი და მეორე თაობის ნახევარგამტარულ მასალებთან შედარებით, მესამე თაობის ნახევარგამტარულ მასალებს აქვთ მაღალი თერმული კონდუქტომეტრი, მაღალი დაშლის ელექტრული ველი, მაღალი გაჯერებული ელექტრონების მიგრაციის სიჩქარე და მაღალი შემაკავშირებელი ენერგია, რაც შეუძლია დააკმაყოფილოს თანამედროვე ელექტრონული ტექნოლოგიის ახალი მოთხოვნები მაღალი დონისთვის. ტემპერატურა, მაღალი სიმძლავრე, მაღალი წნევა, მაღალი სიხშირე და რადიაციის წინააღმდეგობა და სხვა მკაცრი პირობები.მას აქვს მნიშვნელოვანი გამოყენების პერსპექტივები ეროვნული თავდაცვის, ავიაციის, აერონავტიკის, ნავთობის მოპოვების, ოპტიკური შენახვის და ა.შ. სფეროებში და შეუძლია შეამციროს ენერგიის დანაკარგები 50%-ზე მეტით ბევრ სტრატეგიულ ინდუსტრიაში, როგორიცაა ფართოზოლოვანი კომუნიკაციები, მზის ენერგია, ავტომობილების წარმოება, ნახევარგამტარული განათება და ჭკვიანი ბადე, და შეუძლია შეამციროს აღჭურვილობის მოცულობა 75%-ზე მეტით, რაც გადამწყვეტი მნიშვნელობისაა ადამიანის მეცნიერებისა და ტექნოლოგიების განვითარებისთვის.
Semicera Energy-ს შეუძლია მომხმარებელს მიაწოდოს მაღალი ხარისხის გამტარი (გამტარი), ნახევრად საიზოლაციო (ნახევრად საიზოლაციო), HPSI (მაღალი სისუფთავის ნახევრად საიზოლაციო) სილიციუმის კარბიდის სუბსტრატი;გარდა ამისა, ჩვენ შეგვიძლია მივაწოდოთ მომხმარებელს ერთგვაროვანი და ჰეტეროგენული სილიციუმის კარბიდის ეპიტაქსიალური ფურცლები;ჩვენ ასევე შეგვიძლია დავაკონფიგურიროთ ეპიტაქსიალური ფურცელი მომხმარებელთა კონკრეტული საჭიროებების მიხედვით და არ არის შეკვეთის მინიმალური რაოდენობა.
| ნივთები | წარმოება | Კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ.კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკან დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
-
ტანტალის კარბიდით დაფარული ბეჭედი
-
ნახევარგამტარული სილიციუმის კარბიდის ვაფლის ნავი შეიძლება იყოს...
-
ტანტალის კარბიდი (TaC) დაფარული გრაფიტის ბეჭედი
-
მაღალი სისუფთავის კვარცის ბროლის ნავის მორგება შესაძლებელია
-
3 დიუმიანი სილიციუმის კარბიდის მყარი კონუსის მორევის საქშენი
-
ალუმინის ნახევარგამტარული კერამიკული ბეჭედი