Semicera-ს 4 დიუმიანი N- ტიპის SiC სუბსტრატები შექმნილია ნახევარგამტარული ინდუსტრიის მკაცრი სტანდარტების დასაკმაყოფილებლად. ეს სუბსტრატები უზრუნველყოფს მაღალი ეფექტურობის საფუძველს ელექტრონული აპლიკაციების ფართო სპექტრისთვის, გთავაზობთ განსაკუთრებულ გამტარობას და თერმულ თვისებებს.
ამ SiC სუბსტრატების N-ტიპის დოპინგი აძლიერებს მათ ელექტროგამტარობას, რაც მათ განსაკუთრებით შესაფერისს ხდის მაღალი სიმძლავრის და მაღალი სიხშირის გამოყენებისთვის. ეს თვისება იძლევა ისეთი მოწყობილობების ეფექტურ მუშაობას, როგორიცაა დიოდები, ტრანზისტორები და გამაძლიერებლები, სადაც ენერგიის დაკარგვის მინიმიზაცია გადამწყვეტია.
Semicera იყენებს უახლესი წარმოების პროცესებს, რათა უზრუნველყოს თითოეული სუბსტრატის შესანიშნავი ზედაპირის ხარისხი და ერთგვაროვნება. ეს სიზუსტე კრიტიკულია ენერგეტიკულ ელექტრონიკაში, მიკროტალღურ მოწყობილობებში და სხვა ტექნოლოგიებში, რომლებიც ითხოვენ საიმედო შესრულებას ექსტრემალურ პირობებში.
Semicera-ს N- ტიპის SiC სუბსტრატების ჩართვა თქვენს საწარმოო ხაზში ნიშნავს სარგებლობას მასალებისგან, რომლებიც უზრუნველყოფენ სითბოს მაღალ გაფრქვევას და ელექტრო სტაბილურობას. ეს სუბსტრატები იდეალურია კომპონენტების შესაქმნელად, რომლებიც საჭიროებენ გამძლეობას და ეფექტურობას, როგორიცაა დენის კონვერტაციის სისტემები და RF გამაძლიერებლები.
Semicera-ს 4 დიუმიანი N-ტიპის SiC სუბსტრატების არჩევით, თქვენ ინვესტიციას ახორციელებთ პროდუქტში, რომელიც აერთიანებს ინოვაციურ მატერიალურ მეცნიერებას და ზედმიწევნით ოსტატობას. Semicera აგრძელებს ინდუსტრიის ლიდერობას გადაწყვეტილებების მიწოდებით, რომლებიც მხარს უჭერენ უახლესი ნახევარგამტარული ტექნოლოგიების განვითარებას, რაც უზრუნველყოფს მაღალ შესრულებას და საიმედოობას.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
