ნახევარკერაამაყობს წარმოგიდგენთ30მმ ალუმინის ნიტრიდის ვაფლის სუბსტრატი, უმაღლესი დონის მასალა, რომელიც შექმნილია თანამედროვე ელექტრონული და ოპტოელექტრონული აპლიკაციების მკაცრი მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. ალუმინის ნიტრიდის (AlN) სუბსტრატები ცნობილია მათი გამორჩეული თბოგამტარობითა და ელექტრული საიზოლაციო თვისებებით, რაც მათ იდეალურ არჩევანს აქცევს მაღალი ხარისხის მოწყობილობებისთვის.
ძირითადი მახასიათებლები:
• განსაკუთრებული თბოგამტარობა:30მმ ალუმინის ნიტრიდის ვაფლის სუბსტრატიამაყობს თერმული კონდუქტომეტრით 170 W/mK-მდე, რაც მნიშვნელოვნად აღემატება სხვა სუბსტრატის მასალებს, რაც უზრუნველყოფს სითბოს ეფექტურ გაფრქვევას მაღალი სიმძლავრის აპლიკაციებში.
•მაღალი ელექტრო იზოლაცია: შესანიშნავი ელექტრული საიზოლაციო თვისებებით, ეს სუბსტრატი ამცირებს ჯვარედინი საუბრისა და სიგნალის ჩარევას, რაც მას იდეალურს ხდის RF და მიკროტალღური გამოყენებისთვის.
•მექანიკური სიძლიერე:30მმ ალუმინის ნიტრიდის ვაფლის სუბსტრატიგთავაზობთ უმაღლეს მექანიკურ სიმტკიცეს და სტაბილურობას, რაც უზრუნველყოფს გამძლეობას და საიმედოობას მკაცრი მუშაობის პირობებშიც კი.
•მრავალმხრივი აპლიკაციები: ეს სუბსტრატი შესანიშნავია მაღალი სიმძლავრის LED-ების, ლაზერული დიოდების და RF კომპონენტების გამოსაყენებლად, რაც უზრუნველყოფს მტკიცე და საიმედო საფუძველს თქვენი ყველაზე მოთხოვნადი პროექტებისთვის.
•ზუსტი დამზადება: Semicera უზრუნველყოფს, რომ თითოეული ვაფლის სუბსტრატი დამზადებულია უმაღლესი სიზუსტით, რაც უზრუნველყოფს ერთგვაროვან სისქესა და ზედაპირის ხარისხს, რათა დააკმაყოფილოს მოწინავე ელექტრონული მოწყობილობების მკაცრი სტანდარტები.
მაქსიმალურად გაზარდეთ თქვენი მოწყობილობების ეფექტურობა და საიმედოობა Semicera's-ით30მმ ალუმინის ნიტრიდის ვაფლის სუბსტრატი. ჩვენი სუბსტრატები შექმნილია უმაღლესი შესრულების უზრუნველსაყოფად, რაც უზრუნველყოფს თქვენი ელექტრონული და ოპტოელექტრონული სისტემების საუკეთესო ფუნქციონირებას. ენდეთ Semicera-ს უახლესი მასალებისთვის, რომლებიც ლიდერობენ ინდუსტრიაში ხარისხსა და ინოვაციებში.
| ნივთები | წარმოება | კვლევა | მატყუარა |
| კრისტალური პარამეტრები | |||
| პოლიტიპი | 4H | ||
| ზედაპირზე ორიენტაციის შეცდომა | <11-20 >4±0,15° | ||
| ელექტრული პარამეტრები | |||
| დოპანტი | n ტიპის აზოტი | ||
| წინააღმდეგობა | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| მექანიკური პარამეტრები | |||
| დიამეტრი | 150,0±0,2 მმ | ||
| სისქე | 350±25 მკმ | ||
| პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | [1-100]±5° | ||
| პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 47,5±1,5 მმ | ||
| მეორადი ბინა | არცერთი | ||
| TTV | ≤5 მკმ | ≤10 მკმ | ≤15 მკმ |
| LTV | ≤3 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤5 μm (5 მმ*5 მმ) | ≤10 μm (5 მმ*5 მმ) |
| მშვილდი | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| გადახვევა | ≤35 მკმ | ≤45 მკმ | ≤55 მკმ |
| წინა (Si-face) უხეშობა (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| სტრუქტურა | |||
| მიკრომილის სიმკვრივე | <1 ეა/სმ2 | <10 ეა/სმ2 | <15 ეა/სმ2 |
| ლითონის მინარევები | ≤5E10 ატომები/სმ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ეა/სმ2 | ≤3000 ეა/სმ2 | NA |
| TSD | ≤500 ეა/სმ2 | ≤1000 ეა/სმ2 | NA |
| წინა ხარისხი | |||
| წინა | Si | ||
| ზედაპირის დასრულება | Si-face CMP | ||
| ნაწილაკები | ≤60ea/ვაფლი (ზომა≥0.3μm) | NA | |
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ. კუმულაციური სიგრძე ≤ დიამეტრი | კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA |
| ფორთოხლის კანი / ორმოები / ლაქები / ზოლები / ბზარები / დაბინძურება | არცერთი | NA | |
| კიდეების ჩიპები / ჩაღრმავები / მოტეხილობა / ექვსკუთხა ფირფიტები | არცერთი | ||
| პოლიტიპური უბნები | არცერთი | კუმულაციური ფართობი≤20% | კუმულაციური ფართობი≤30% |
| წინა ლაზერული მარკირება | არცერთი | ||
| უკან ხარისხი | |||
| უკანა დასრულება | C-სახის CMP | ||
| ნაკაწრები | ≤5ea/მმ, კუმულაციური სიგრძე≤2*დიამეტრი | NA | |
| უკანა დეფექტები (კიდეების ჩიპები/შეწევა) | არცერთი | ||
| ზურგის უხეშობა | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| უკანა ლაზერული მარკირება | 1 მმ (ზედა კიდიდან) | ||
| ზღვარი | |||
| ზღვარი | ჩამფერი | ||
| შეფუთვა | |||
| შეფუთვა | Epi-ready ვაკუუმური შეფუთვით მრავალ ვაფლის კასეტის შეფუთვა | ||
| *შენიშვნები: "NA" ნიშნავს მოთხოვნის გარეშე. ნივთები, რომლებიც არ არის აღნიშნული, შეიძლება ეხებოდეს SEMI-STD-ს. | |||
